YSM40R_Mainte_K.pdf - 第150页
3-81 3 5 샤 프 트 내 부 를 예비 청소합니다 . 노 즐 샤프트 안쪽에 부착되 어 있 는 더러 움이 나 이 물질 이 제거 되 기 쉽도 록 예비 청소를 합니다 . 1 . 배관용 브러시 (KMB- M38 5 8 -0 0X) 를 노즐 샤프트의 안쪽 깊숙 히 삽입해서 수차례 돌립 니다 . 2. 다른 노즐 샤 프트 내부 도 같은식 으로 전 부 청 소해 주십 시 오 . 57 3E 9-N9-00 …

3-80
3
8. 그 외
8.1 RS 헤드유닛의 노즐 샤프트 내부의 청소
RS 헤드 유닛에 있어서 , 노즐이 없는 상태로 진공레벨을 측정해서 , 진공레벨이 규정값 (100 이하 ) 까지 내려가지
않을 경우에는 일반적으로 필터를 교환합니다 . 그러나, 필터를 교환해도 진공레벨이 규정값까지 내려가지 않을
경우에는 , 스플라인 샤프트내부의 에어경로가 더러워져 있을 가능성이 있습니다.
그럴 경우에는 , 노즐 샤프트 내부를 청소할 필요가 있습니다.
또한 , 진공레벨이 규정값까지 내려가지 않는 헤드가 하나라도 있을 경우는, 다른 헤드의 샤프트 내부도 더러워져
있을 가능성이 높습니다. 따라서 , 모든 헤드의 노즐 샤프트 (18 개 ) 를 함께 청소해 주십시오 .
1
노즐을 노즐 스테이션에 수납합니다 .
1. [ 장치 ] 버튼을 눌러서「헤드」탭을 선택합니다 .
2. 테이블을 선택하고 , [ 노즐변경 ] 버튼을 누릅
니다 .
3. 「노즐변경」대화창에서 헤드번호는「ALL」,
노즐 타입은「노즐수납」을 선택합니다 .
4. [OK] 버튼을 누르면 모든 헤드의 노즐이 수납
됩니다 .
58305-N9-00
n
요점
노즐 스테이션을 겸비하고 있지 않을 경우는 , 비상정지 버튼을
누르고 수동으로 노즐을 탈착해 주십시오 .
2
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을
받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태
로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니
다.
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키
고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
3
필터를 전부 탈착합니다 .
전술의「2.6.1 에어필터의 점검과 교환」의 Step3
을 참조해서 , 모든 헤드의 필터를 탈착해 주십시
오.
4
스풀의 청소와 급유를 실시합니다 .
전술의「3.2.3 스풀 ( 진공 전환부 ) 의 청소와 급유」
를 참조해서 , 모든 스풀을 청소하고 급유해 주십시
오.
참고
탈착한 스풀을 되돌릴 때, 반드시 원위치가 아니어도 상관없습
니다 .
Step 1
노즐의 수납
[노즐변경] 버튼
테이블 선택

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3
5
샤프트 내부를 예비청소합니다 .
노즐 샤프트 안쪽에 부착되어 있는 더러움이나
이물질이 제거되기 쉽도록 예비 청소를 합니다 .
1. 배관용 브러시 (KMB-M3858-00X) 를 노즐
샤프트의 안쪽 깊숙히 삽입해서 수차례 돌립
니다 .
2. 다른 노즐 샤프트 내부도 같은식으로 전부
청소해 주십시오 .
573E9-N9-00
n
요점
・
배관용 브러시는 구부러지지 않도록 삽입하는 쪽에 가깝
게 잡아 주십시오 .
・
오염정도에 따라 다릅니다만 , 보통 배관용 브러시 1 개로
RS 헤드 (18 개 ) 를 청소할 수 있습니다.
노즐 샤프트 내부의 청소
Step 5
배관용 브러시

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3
6
블로운 전환을 ON 으로 합니다 .
1. 하기의「RS 헤드 유닛의 블로우 에어 경로」를
참조해서 , 블로우를 실시할 헤드유닛과 로드
번호를 확인합니다 .
2. [ 장치 ]-「I/O」화면의「Output」를「헤드」로
설정합니다 .
3. 상기의 1. 에서 확인한「로드 1(or2)」를 I/O 화
면에서 클릭한 후 , 화면 아래의 [ON/OFF] 버
튼을 눌러서 해당 로드의 블로우 밸브를 오픈
합니다 . (0 → 1)
58306-N9 - 00
n
요점
「로드 1」「로드 2」의 어느 한 쪽만 밸브를 오픈합니다.
참고
「로드 1(or2)」와「블로우 전환」밸브가 양쪽다 오픈되면 , 로드
하단에 있는 샤프트 선단으로부터 블로우 에어가 배출됩니다.
█ RS 헤드유닛의블로우에어경로
RS 헤드 유닛을 정면에서 봤을 때 , 우측에 있는 에어 호스를 로드 1 의 에어 라인 , 반대쪽을 로드 2 의 에어 라인이라고 합
니다 . RS 헤드의 유지보수에서 블로우 에어를 사용할 경우에는 , 유지보수 대상의 헤드유닛과 작업자 위치 및 로드의 위치
를 확인한 후에 실시할 로드를 선택합니다 .
헤드유닛과 로드의 위치
로드2쪽
로드1의 에어 라인
1
2
21
21
1
2
A
B
C
D
헤드유닛 C의 유지보수는
로드2쪽에서 블로우 한다
573F0 -N9-0 0
블로우 전환 ON
Step 6
헤드를 선택
T130070
헤드
Address Type
7 6 5 4 3 2 1 0
T130470
헤드
T130570
헤드
T130870
헤드
T130970
헤드
T130C70
헤드
T130D70
헤드
T130170
헤드
1 0
0 0
0 0 0
0 0
1 0 0
0 0
0 0 0
0 0
헤드유닛 밸브 명칭
Address
A (
테이블
A)
블로우 전환
로드
1
로드
2
T130070 1
T130070 0
T130170 0
B (
테이블
B)
블로운 전환
로드
1
로드
2
T130470 1
T130470 0
T130570 0
C (
테이블
C)
블로운 전환
로드
1
로드
2
T130870 1
T130870 0
T130970 0
D (
테이블
D)
블로운 전환
로드
1
로드
2
T130C70 1
T130C70 0
T130D70 0
0
[ON/OFF] 버튼