YSM40R_Mainte_K.pdf - 第199页
A-5 A 2. 보 수 부 품 2. 1 Y SM40R 보수 부 품 리스 트 주의 본 매뉴얼 에 기재되어 있는 부 품 ( 부 품번 호 ) 은 발행시의 것입니 다 . 부 품번호는 예고없 이 변경될 경우가 있으 므 로 , 발주시에는 반드 시 최신 내용인지 대리점에 확인해 주십시 오 . n 요점 ・ 소모 품 의 부위 및 교 환 방 법 에 대 해 서 는 , 본 매 뉴 얼 내 에 기 재 되 어 있 습 …
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A
1.3.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에, 기판반출을 시작합니다.
1. 본체가 기판반출 가능한 상태（BA OUT:ON）
2. 하류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BUSY IN [N0100420]:ON）
3. 하류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（LR IN [N0100423]:ON）
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
BUSY IN
(N0100420)
+24V
+24V
UR OUT(T01000E6)
LR IN
(N0100423)
+24V
LE IN
(N0100424)
BA OUT
(T01000E5)
I/O BOARD
GND GND
14
11
12
7
4
8
3
1
반입중 출력
반출요구 입력
자동운전중 입력
자동운전중 출력
장비간 기판대기 출력
NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A05-N5-0 0
■ 기판반송 신호사양
NEXT INTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V)
기판반입중 신호입력
2 BUSY IN N0100420 전압 입력
3 BA OUT T01000E5 릴레이 접점출력
기판반출요구 신호출력
4 BA OUT T01000E5 릴레이 접점출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT T01000E6 릴레이 접점출력
자동운전중 신호출력
10 UR OUT T01000E6 릴레이 접점출력
11 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
12 LR IN N0100423 전압 입력
13 +24V 입력공 통 (+24V)
장비간 기판대기중 신호입력
14 LE IN N0100424 전압 입력
A-5
A
2. 보수부품
2.1 YSM40R 보수부품 리스트
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 부품번호 ) 은 발행시의 것입니다 .
부품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으므로 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 대리점에 확인해 주십시오 .
n
요점
・
소모품의 부위 및 교환방법에 대해서는 , 본 매뉴얼내에 기재되어 있습니다 .
・
노즐에 관련된 소모품에 대해서는 , 제 1 장「2.1 소모품」을 참조해 주십시오 .
◼
소모품 일람
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
RS 헤드유닛
에어필터
FILTER
KMB-M7070-00X
1개 18
✽
1
KMB-M3857-01X
1000 개 세트의 번호 -
✽
1
패킹 ASSY
PACKING ASSY KMB-M70SP-00X
RS 헤드 진공라인 교환부품 1
✽
1
로드 1/2 블로우 밸브
VALVE KMB-M7055-00X
2
✽
1
MU 헤드유닛
노즐 판스프링
LEAF SPRING KG7-M7137-A0X
20
✽
1
노즐 판스프링 고정나사
SCREW,PAN HEAD 90990-08J016
M2xL2.5 20
✽
1
에어 필터
FILTER KLF-M7156-00X
10
✽
1
FL 헤드유닛
노즐 판스프링
PLATE, SPRING K V7-M8171-00X
4
✽
1
노즐 판스프링 고정볼트
BOLT HEX,
SOCKETHEAD
90115 - 02J0 0 4
4
✽
1
노즐 판스프링 고정와셔
WASHER, PLAIN 90990-28J002
4
✽
1
에어 필터
FILTER KLF-M7156-00X
2
✽
1
컨베이어 벨트
컨베이어 벨트
BELT, CONVEYOR 1 KLF-M9110-00X
레인 1 쪽 , 길이 1180mm 4
✽
2
BELT, CONVEYOR 2 KLF-M9117- 0 0X
레인 2 쪽 , 길이 1256mm 4
✽
2
BELT, CV1 KLF-M9177-01X
연장 컨베이어용 길이 1524mm 4
✽
3
베이스부
컨트롤러용 필터
MEDIA FILTER KLA-M53A9-00X
시스템 컨트롤러용 1
FILTER KLA-M53A8-00X
서보 컨트롤러용 1
천장 팬 부분 필터
FILTER,TOP COVER FAN KLF-M130J-00X
2
컨베이어 I/O 부 필터
FILT E R ,CP,FA N KLF-M115J-00X
1
뒤쪽 베이스 팬 부분 필터
FILTER,REAR BASE FAN KLF-M131J-00X
1
필터 엘리먼트
FILTER ELEMENT KLF-M8502-50X
에어필터 1
엘리먼트 어셈블리
MIST FILTER ELEMENT KLF-M8502-70X
오일 미스트 필터 1
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A
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
XY 축
Y 축 케이블 베어
LINK, 70 CABLE Y KMB-M26H1-00X
4 빔 사양 장비 한대당 세트 1
LINK, 90 CABLE Y KMB-M26H1-10X
2 빔 사양 장비 한대당 세트 1
진공펌프
진공펌프 유지보수 세트
PUMP SPARE SET
KLF-M86P0-00X
4 빔 사양 장비 한대분
( 펌프 두대분 )
1
KLF-M86P0-10X
2 빔 사양 장비 한대분
( 펌프 한대분 )
1
이오나이저
( 옵션 )
이오나이저 방전침세트 (4 개입 )
Needle Set KHN-M83P1-00X
1
✽
4
UPS( 옵션 )
UPS 배터리
UPS,BATTERY KGA-M6566-30X
1
✽
1 헤드유닛 한대당 필요수
✽
2 각 레인의 필요수
✽
3 한쪽만 연장할 경우의 장비 한대당 필요수
✽
4 이오나이저 한개당 필요수