YSM40R_Mainte_K.pdf - 第201页
A-7 A ◼ YSM40 R 보수부 품 일람 사용 부위 명칭 부 품명칭 부품번 호 비고 수량 RS 헤드 유닛 센서 진공 센서 SEN. VAC .PRESS ASSY KMB -M653P-00 X 1 ✽ 1 N 축 원점 센서 SENSO R,N ORG AS S Y KMB -M653M-0 0 X 1 R 축 원점셈서 SENSO R,R ORG ASSY KMB-M653N- 00 X 1 샤프 트 / 홀더 노…
A-6
A
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
XY 축
Y 축 케이블 베어
LINK, 70 CABLE Y KMB-M26H1-00X
4 빔 사양 장비 한대당 세트 1
LINK, 90 CABLE Y KMB-M26H1-10X
2 빔 사양 장비 한대당 세트 1
진공펌프
진공펌프 유지보수 세트
PUMP SPARE SET
KLF-M86P0-00X
4 빔 사양 장비 한대분
( 펌프 두대분 )
1
KLF-M86P0-10X
2 빔 사양 장비 한대분
( 펌프 한대분 )
1
이오나이저
( 옵션 )
이오나이저 방전침세트 (4 개입 )
Needle Set KHN-M83P1-00X
1
✽
4
UPS( 옵션 )
UPS 배터리
UPS,BATTERY KGA-M6566-30X
1
✽
1 헤드유닛 한대당 필요수
✽
2 각 레인의 필요수
✽
3 한쪽만 연장할 경우의 장비 한대당 필요수
✽
4 이오나이저 한개당 필요수
A-7
A
◼
YSM40R 보수부품 일람
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
RS 헤드
유닛
센서
진공센서
SEN.VAC.PRESS ASSY KMB-M653P-00X
1
✽
1
N 축 원점센서
SENSOR,N ORG ASSY KMB-M653M-00X
1
R 축 원점셈서
SENSOR,R ORG ASSY KMB-M653N-00X
1
샤프트 / 홀더
노즐샤프트
( 홀수 헤드용 )
SHAFT 1,SPARE KMB-M701S-A0X
9
노즐샤프트
( 짝수 헤드용 )
SHAFT 2,SPARE KMB-M702S-A0X
9
노즐홀더 ASSY
HOLDER NOZZLE
ASSY.
KMB-M703S-A0X
노즐샤프트 선단부 18
구동부
Z 축 모터 ASSY
Z AXIS ASSY. KMB-M70K0-00X
Z 모터 2
V 축 모터 ASSY
V AXIS ASSY. KMB-M70R0-00X
V 모터 2
R 축 모터
AC SERVO MOTOR 90KD 0 - 0115 04
R-MOTOR 1
N 축 모터
AC SERVO MOTOR 90KD0-012003
N-MOTOR 1
카메라 사이드뷰 카메라ASSY
S.V.CAM.ASSY. KMB-M79C0 -H1X
사이드뷰 카메라 1
밸브
블로우 압력 전환밸브
VALVE KMB-M7053-00X
1
진공 전환밸브
VALVE KMB-M7052-00X
1
ASSY
로터리 ASSY
ROTARY ASSY. KMB-M7010-00X
로터리 ASSY
(18 개의 노즐샤프트 &
노즐홀더 ASSY)
1
RS 헤드 유닛
RS HEAD UNIT KMB-M70U0-00X
예비 RS 헤드유닛 세트 1
MU 헤드
유닛
센서
H7-H10 용 유량센서
SENSOR FLOW.1 ASSY KLF-M654D-02X
4
✽
1
H1-H6 용 유량센서
SENSOR FLOW.2 ASSY KLF-M654D-12X
6
진공센서
SENSOR PRESS. ASSY KLF-M654C-00X
1
샤프트
스플라인 샤프트
(H1,3,4,6)
SHAFT 1,SPARE KLF-M711S-A0X
헤드 1,3,4,6
전용
4
스플라인 샤프트
(H 2,5,7, 8 ,9,10)
SHAFT 2,SPARE KLF-M712S-A0X
헤드 2,5,7, 8 ,9,10
전용
6
구동부
R 축 구동벨트 1
BELT 1 KLF-M7131-00X
2
R 축 구동벨트 2
BELT 2 KLF-M7132-00X
2
구동부 에어튜브 1
TUBE(TUS0425N) KLF-M712A-00X
6
구동부 에어튜브 2
TUBE(TUS0425N) KLF-M712B-00X
4
구동부 에어튜브 3
TUBE(TUS0425N) KLF-M712C-00X
10
구동부 에어튜브 4
TUBE(TUS0425N) KLF-M712D-00X
4
Z 축 ASSY( 뒤쪽 )
Z AXIS ASSY.1 KLF-M71K0-00X
뒤쪽 헤드용
(7,8 & 9,10)
2
Z 축 ASSY( 앞쪽 )
Z AXIS ASSY.2 KLF-M71L0-00X
앞쪽 헤드용
(1,2,3 & 4,5,6)
2
R1 축 모터
AC SERVO MOTOR
ASSY
90KB0-113503
R1 1
R2 축 모터
AC SERVO MOTOR
ASSY
90KB0-113504
R2 1
밸브
블로우 밸브
VALVE KLF-M7152-00X
MU 헤드 유닛용 10
진공전환 밸브
VALVE KLF-M7153-00X
MU 헤드 유닛용 10
조인트
조인트
JOINT KLF-M7154-00X
10
필터측 조인트
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
10
ASSY MU 헤드유닛
MU HEAD UNIT KLF-M71U0-00X
예비 MU 헤드유닛 세트 1
A-8
A
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
FL 헤드
유닛
센서
유량센서
SENSOR FLOW.1 ASSY KLF-M654D-02X
2
✽
1
진공센서
SENSOR PRESS. ASSY KLF-M654C-00X
1
샤프트
리턴 스프링
SPRING,RETURN KLF-M742C-00X
리턴 스프링 2
스플라인 샤프트
SHAFT,SPARE KLF-M741S-A0X
스플라인 샤프트 ASSY. 2
구동부
Z1 축 모터
AC SERVO MOTOR Z1 90K2F-032003
1
Z2 축 모터
AC SERVO MOTOR Z2 90K2F-032004
1
Z 축 볼스크류
BALL SCREW KLF- M7421-01X
2
R1 축 모터
AC SERVO MOTOR R1 90KB0-113103
1
R2 축 모터
AC SERVO MOTOR R2 90KB0-113104
1
밸브 블로우 / 진공전환 밸브
VALVE KLF-M7153-00X
2
조인트 필터쪽 조인트
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
2
ASSY
FL 헤드 유닛용
ANC 유닛
FL HEAD UNIT KLF-M74U0-00X
FL 헤드유닛 1
컨베이어
컨베이어 센서
컨베이어
투과 센서용 앰프
SEN.CV AMP ASSY KMB-M653U-F0X
투과센서
( 레인 1& 레인 2:5 개씩 )
10
✽
2
컨베이어 입구센서
SENSOR ENT ASSY KLF-M653M-01X
입구센서
( 레인 1& 레인 2:1 개씩 )
2
컨베이어 출구센서
SENSOR EXIT ASSY KLF-M653M-11X
출구센서
( 레인 1& 레인 2:1 개씩
2
반송벨트 ( 레인 1）
※표준길이
컨베이어용
표준 컨베이어 벨트
( 레인 1 용）
BELT,CO NVEYOR 1 KLF -M911A- 00X
레인 1 쪽 길이
118 0 m m
4
✽
3
컨베이어 풀리 1
PULLEY,ASSY. KLF-M913A-A1X
8
컨베이어 풀리 2
PULLEY CONV. ASSY. KGS-M9140-A0X
4
컨베이어 풀리 3
PULLEY CONV. ASSY. KGY-M9140 -A0X
4
반송벨트 ( 레인 2）
※표준길이
컨베이어용
표준 컨베이어 벨트
( 레인 2 용）
BELT,CO NVEYOR 2 KLF -M911B-00X
레인 2 쪽 길이 1256mm 4
컨베이어 풀리 1
PULLEY,ASSY. KLF-M913A-A1X
8
컨베이어 풀리 2
PULLEY CONV. ASSY. KGS-M9140-A0X
4
컨베이어 풀리 3
PULLEY CONV. ASSY. KGY-M9140 -A0X
4
반송벨트 ( 레인 1）
※연장 컨베이어용
표준 컨베이어 벨트
( 레인 1 용）
BELT,CO NVEYOR 1 KLF -M911A- 00X
레인 1 쪽 길이
118 0 m m
2
연장 컨베이어 벨트
BELT,CV 1 KLF-M9177-01X
연장 컨베이어용 길이
1524mm
2
컨베이어 풀리 1
PULLEY,ASSY. KLF-M913A-A1X
10
컨베이어 풀리 2
PULLEY CONV. ASSY. KGS-M9140-A0X
4
컨베이어 풀리 4
PULLEY CONV. ASSY. KLF-M9150-A0X
8
반송벨트 ( 레인 2）
※연장 컨베이어용
표준 컨베이어 벨트
( 레인 2 용）
BELT,CO NVEYOR 2 KLF -M911B-00X
레인 2 쪽 길이 1256mm 2
연장 컨베이어 벨트
BELT,CV 1 KLF-M9177-01X
연장 컨베이어용 길이
1524mm
2
컨베이어 풀리 1
PULLEY,ASSY. KLF-M913A-A1X
10
컨베이어 풀리 2
PULLEY CONV. ASSY. KGS-M9140-A0X
4
컨베이어 풀리 4
PULLEY CONV. ASSY. KLF-M9150-A0X
8
기판 클램프부
（각 테이블 공통）
기판 클램프 가이드
GUIDE KV7-M9266 -01X
6
기판 클램프용 플런저
SPRING PLUNGER KLF-M926E-00X
4