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KMN918 C 200 총 목차 머리말 1 . 각장 의내용 i 2. 유지보 수항목 일람 ii 제 1 장 유지보수에 대하 여 1 . 장 비 의성능 을유지하 기위해 서 1 - 1 1 . 1 필수조건및환 경조건 1 - 1 1 .2 정기적인점검 • 청소 의중요 성 1 -2 2. 유지보 수작 업의준 비 1 -3 2. 1 소 모품 1 -3 2. 1 . 1 MU 헤드 유닛…

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4. 매뉴얼상의 안전표기
본서에서는 , 사용하는 작업자나 그외 다른 사람에게 위해를 가하거나 , 기계의 손실을 미연에 방지하기 위해서
반드시 지켜야할 내용을「경고」,「주의」로 설명하고 있습니다 . 또한 , 장비를 조작하거나 작업함에 있어서 ,
필요한 내용이나 알아두면 편리한 팁을「요점」,「참고」로 설명하고 있습니다 .
■ 경고
w
경고
잘못된 취급을 했을 경우 , 사망 또는 중상에 이를 가능성이 있는 내용을 나타내고 있습니다 .
장비의 운전자 , 점검자 , 수리자 등의 안전을 지키기 위해서 제일 중요한 주의 사항입니다 .
■ 주의
c
주의
잘못된 취급을 했을 경우 , 위해 , 또는 물적손해가 발생할 가능성이 있는 내용을 나타내고 있습니다 .
장비 본체 및 데이터 등의 손상을 방지하기 위한 중요한 주의 사항입니다 .
■ 요점
n
요점
장비를 조작함에 있어 필요한 정보 , 또는 장비의 조작방법 등을 간결하고 명확하게 설명하고 있습니다.
■ 참고
참고
각 항목에 관한 추가정보 및 보다 상세한 설명의 참조처를 나타내고 있습니다.
■ 비상정지
e
이 마크가 표시되어 있는 작업은 반드시 비상정지 상태에서 실행해 주시기 바랍니다 .
KMN918C
200
총목차
머리말
1. 각장의내용 i
2. 유지보수항목일람 ii
제 1 장 유지보수에 대하여
1. 장비의성능을유지하기위해서 1-1
1.1 필수조건및환경조건 1-1
1.2 정기적인점검
•
청소의중요성 1-2
2. 유지보수작업의준비 1-3
2.1 소모품 1-3
2.1.1 MU 헤드 유닛 1-3
2.1.2 RS 헤드 유닛 1-5
2.1.3 FL 헤드 유닛 1-8
2.1.4 전기종 공통 1-10
2.2 교환부품 1-12
2.2.1 MU 헤드 유닛 1-12
2.2.2 RS 헤드 유닛 1-13
2.2.3 FL 헤드 유닛 1-14
2.3 유지보수공구 1-15
2.3.1 클리닝 툴 1-15
2.3.2 급유 툴
•
구리스 1-17
2.3.3 스페셜 툴 1-19
2.4 필요공구 1-20
제 2 장 일상적인 유지보수 항목
작업하기전에 2-1
테이프커터부덕트의분리 2-3
1. 노즐상태의확인 2-4
1.1 소프트웨어로확인하기 2-4
1.1.1 노즐 해방시의 진공레벨 2-7
1.2 육안으로확인하기 2-8
2. 피더플레이트의청소 2-10
3. 테이프커터의상태확인 2-11
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
1. 매주 3-1
1.1 노즐의점검 3-1
1.1.1 노즐 스프링부의 점검 3-1
1.1.2 노즐 판스프링 / 롤러 로크부의 상태확인 3-2
1.2 노즐의청소와급유 3-3
1.2.1 노즐 스프링부의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 에어경로의 청소 3-5
1.2.3 노즐 선단부의 청소 3-6
1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해서 3-8
1.3 인식장치 3-14
1.3.1 멀티 카메라 조명 보호커버의 청소 3-14
2. 매월 3-15
2.1 X-Y 축 (4 빔 ) 3-16
2.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 （4 빔） 3-16
2.1.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 (4 빔 ) 3-18
2.1.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (4 빔 ) 3-20
2.2 X-Y 축 (2 빔 ) 3-22
2.2.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 (2 빔 ) 3-22
2.2.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (2 빔 ) 3-24
2.2.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (2 빔 ) 3-25
2.3 컨베이어부 3-27
2.3.1 기판검출 센서 3-27
2.4 베이스부 ,그외 3-28
2.4.1 피더들뜸 센서의 청소 3-28
2.5 일괄교환대차 3-29
2.5.1 대차 캠 폴로어의 청소와 급유 3-29
2.6 RS 헤드 3-30
RS 헤드 / 노즐샤프트의하강방법 3-30
2.6.1 에어필터의 점검과 교환 3-31
3. 3 개월 3-33
3.1 MU 헤드 3-33
3.1.1 에어필터의 청소와 교환 3-33
3.1.2 MU 헤드의 스플라인 샤프트 Z 축의 동작확인 3-34
3.1.3 MU 헤드의 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-34
3.1.4 MU 헤드의 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-35
3.2 RS 헤드 3-36
3.2.1 노즐 샤프트 선단부의 점검과 청소 3-36
3.2.2 노즐 샤프트 선단부의 급유 3-37
3.2.3 스풀 ( 진공 전환부 ) 의 청소와 급유 3-39
3.3 FL 헤드 3-41
3.3.1 에어필터의 청소와 교환 3-41
3.3.2 스플라인 샤프트
•
볼스크류의 청소와 급유 3-42
3.4 베이스부 ,그외 3-43
3.4.1 흡기 팬 필터의 청소 3-43
3.4.2 에어 Base-MACS 의 청소 (4 빔 ) 3-45