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3.5 일괄교 환대차 3- 46 3.5. 1 가 이드 레일 커버 클램프부 의 청소 와 급유 3-46  4 . 6 개월 3- 4 7 4. 1 인식장 치 3-47 4. 1 . 1 피듀 셜 카메라 3-47 4. 1 .2 멀티 카메라 3-48 4. 1 .3 사 이드뷰 카메라 3-49 4. 1 .4 RS 헤드 사 이드뷰 카메라 3-50  5. 1 년 3-5 1 5. 1 MU 헤…

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제 3 장 정기적인 유지보수 항목
1. 매주 3-1
1.1 노즐의점검 3-1
1.1.1 노즐 스프링부의 점검 3-1
1.1.2 노즐 판스프링 / 롤러 로크부의 상태확인 3-2
1.2 노즐의청소와급유 3-3
1.2.1 노즐 스프링부의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 에어경로의 청소 3-5
1.2.3 노즐 선단부의 청소 3-6
1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해서 3-8
1.3 인식장치 3-14
1.3.1 멀티 카메라 조명 보호커버의 청소 3-14
2. 매월 3-15
2.1 X-Y 축 (4 빔 ) 3-16
2.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 （4 빔） 3-16
2.1.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 (4 빔 ) 3-18
2.1.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (4 빔 ) 3-20
2.2 X-Y 축 (2 빔 ) 3-22
2.2.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 (2 빔 ) 3-22
2.2.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (2 빔 ) 3-24
2.2.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (2 빔 ) 3-25
2.3 컨베이어부 3-27
2.3.1 기판검출 센서 3-27
2.4 베이스부 ,그외 3-28
2.4.1 피더들뜸 센서의 청소 3-28
2.5 일괄교환대차 3-29
2.5.1 대차 캠 폴로어의 청소와 급유 3-29
2.6 RS 헤드 3-30
RS 헤드 / 노즐샤프트의하강방법 3-30
2.6.1 에어필터의 점검과 교환 3-31
3. 3 개월 3-33
3.1 MU 헤드 3-33
3.1.1 에어필터의 청소와 교환 3-33
3.1.2 MU 헤드의 스플라인 샤프트 Z 축의 동작확인 3-34
3.1.3 MU 헤드의 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-34
3.1.4 MU 헤드의 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-35
3.2 RS 헤드 3-36
3.2.1 노즐 샤프트 선단부의 점검과 청소 3-36
3.2.2 노즐 샤프트 선단부의 급유 3-37
3.2.3 스풀 ( 진공 전환부 ) 의 청소와 급유 3-39
3.3 FL 헤드 3-41
3.3.1 에어필터의 청소와 교환 3-41
3.3.2 스플라인 샤프트
•
볼스크류의 청소와 급유 3-42
3.4 베이스부 ,그외 3-43
3.4.1 흡기 팬 필터의 청소 3-43
3.4.2 에어 Base-MACS 의 청소 (4 빔 ) 3-45
3.5 일괄교환대차 3-46
3.5.1 가이드 레일 커버 클램프부의 청소와 급유 3-46
4. 6 개월 3-47
4.1 인식장치 3-47
4.1.1 피듀셜 카메라 3-47
4.1.2 멀티 카메라 3-48
4.1.3 사이드뷰 카메라 3-49
4.1.4 RS 헤드 사이드뷰 카메라 3-50
5. 1 년 3-51
5.1 MU 헤드 3-51
5.1.1 스플라인 샤프트 내부의 세척 3-51
5.2 FL 헤드 3-53
5.2.1 스플라인 샤프트의 세척 3-53
5.2.2 시저스 기어의 청소와 급유 3-55
5.3 컨베이어반송부 3-56
5.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 가이드
•
풀리의 청소 3-56
5.3.2 6 각 스플라인의 청소
•
급유 3-58
5.3.3 W 축 볼스크류
•
가이드의 청소와 급유 3-59
5.3.4 PU 축 볼스크류의 청소와 급유 3-61
5.4 베이스부 ,그외 3-63
5.4.1 필터의 청소 3-63
5.4.2 에어 / 미스트 필터 및 컵의 청소 3-64
6. 2 년 3-65
6.1 RS 헤드유닛 3-65
6.1.1 시저스 기어의 청소와 급유 3-65
6.1.2 노즐 샤프트 상부의 청소와 급유 3-66
6.1.3 진공라인 패킹 ASSY 의 교환 3-67
6.1.4 블로우 밸브의 교환 3-69
7. 3 년 3-71
7.1 X-Y 축 3-71
7.1.1 Y 축 케이블 베어 체인링크의 교환 3-71
7.2 베이스부 ,그외 3-73
7.2.1 진공 펌프의 유지보수 3-73
7.2.2 펌프의 탈착과 작업준비 3-74
7.2.3 소모품의 분리 3-75
7.2.4 소모품의 장착 3-78
7.2.5 펌프의 장착 3-79
8. 그외 3-80
8.1 RS 헤드유닛의노즐샤프트내부의청소 3-80
제 4 장 옵션부의 유지보수
1. 이오나이저 4-1
1.1 이오나이저방전침의청소 ( 매월 ) 4-2
1.2 이오나이저방전침의교환 (2 년 ) 4-3
2. UPS( 무정전전원장치 ) 4-4
2.1 UPS 배터리의교환 (3 년 ) 4-4
3. cATS 의점검및청소
•
급유 4-5
3.1 일상점검 4-6
3.1.1 매거진과 팔레트의 점검 4-6
3.2 매월 4-7
3.2.1 AZ 축 4-7
3.2.2 cATS 의 양 사이드 4-7
3.3 6 개월 4-8
3.3.1 AH 축 4-8
3.3.2 매거진 샤프트부 4-8
3.3.3 흡착 스테이션 ( 팔레트 클램프부 ) 4-9
3.3.4 흡착 스테이션 ( 상하 가이드부 ) 4-9
4. 노즐스테이션 4-10
4.1 노즐스테이션센서의상태확인 (1 년 ) 4-10
4.2 노즐스테이션의청소 4-12
제 5 장 급유개소 일람
1. 급유준비 5-1
1.1 적용구리스 5-1
1.2 구리스건 5-2
2. 급유개소와주기 ( 본체 ) 5-3
2.1 X 축 5-3
2.1.1 4 빔 사양 5-3
2.1.2 2 빔 사양 5-4
2.2 Y 축 5-5
2.2.1 4 빔 사양 5-5
2.2.2 2 빔 사양 5-6
2.3 W 축 5-7
2.4 PU 축 5-8
2.5 헤드부 5-9
2.5.1 MU 헤드유닛 5-9
2.5.2 RS 헤드유닛 5-10
2.5.3 FL 헤드유닛 5-11
3. 일괄교환대차의급유개소와주기 5-12