YSM40R_Mainte_K.pdf - 第39页
1-5 1 2. 1 .2 RS 헤드 유닛 █ 소모품 ( 동봉품 ) 소모품 RS헤드 동봉품 에어 필터 57101- N9 - 00 명칭 부 품 명칭 부 품 번호 비고 에어 필터 F I LT E R KMB -M 7070- 0 0X 1개 FIL TER 100 0 PCS. K M B - M 3 8 5 7- 01 X 1 ,000 개 ■ 소 모품 ( 옵 션 구입품 ) 소모품 (RS헤드) 옵션 구입품 패킹…

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■ 소모품 ( 옵션 구입품 )
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
표준
50X 계 노즐
NOZZLE, 500A/510A ASSY. KLF-M87A0-A0X 0402 전용
NOZZLE, 501A ASSY. KLF-M7710-A0X 0603, 1005
NOZZLE, 502A ASSY. KLF-M7720-A0X 1608, 2012, 3216
NOZZLE, 503A/514A ASSY. KLF-M8740-A0X SOP 등
협인접
51X 계 노즐
NOZZLE, 500A/510A ASSY. KLF-M87A0-A0X 0402 전용
NOZZLE, 511A ASSY. KLF-M8710-A0X 0603 전용
NOZZLE, 512A ASSY. KLF-M8720-A0X 1005, 1608
NOZZLE, 513A ASSY. KLF-M8730-A0X 2012, 3216, 3225
표준
・
협인접
공통노즐
NOZZLE, 504A/515A ASSY. KLF-M8750-A0X QFP, PLCC 등
NOZZLE, 507A/518A ASSY. KLF-M8780-A0X
☐
32mm 이상의 대형부품
NOZZLE, 506A/517A ASSY. KLF-M8770-A0X 원통형상 부품
기타
BODY, NOZZLE 500/510 KLF-M 87A1- 0XX 510A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 511 KLF- M 8711- 0XX 511A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 512 KLF-M8721-0XX 512A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 513 KLF-M8731-0XX 513A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 501 KLF- M 7711- 0XX 501A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 502 KLF-M7721-0XX 502A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 303/314 KHY- M7741-00X 503A/514A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 306/317 KHY-M7771-00X 506A/517A 용 노즐 선단부만
SPRING, NOZZLE KLF-M7713-00X 칩 노즐용
SPRING KHN-M7713-000 503/514A, 506/517A 용
PIN KHN-M7714-000 503/514A, 506/517A 용
CLIP KHN-M7715-001 503/514A, 506/517A 용
O-RING 90990-17J081 504/515A 용 오존 대책품
O-RING 90990-17J082 5 07/518A 용 오존 대책품
c
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 부품번호 ) 은 발행시의 것입니다 .
부품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으므로 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 확인하여 주십시오 .

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1
2.1.2 RS 헤드 유닛
█
소모품 ( 동봉품 )
소모품
RS헤드 동봉품
에어 필터
57101-N9 - 00
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
에어 필터
FILTER KMB-M7070-00X 1개
FILTER 1000PCS. KMB-M3857-01X 1,000 개
■ 소모품 ( 옵션 구입품 )
소모품 (RS헤드)
옵션 구입품
패킹 ASSY
로드1 블로우 밸브
로드2 블로우 밸브
57102-N9-00
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
패킹 ASSY PACKING ASSY KMB-M70SP-00X RS 헤드 진공라인 교환부품
로드 1 블로우 밸브
VALVE KMB-M7055-00X
로드 2 블로우 밸브

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1
■ 소모품 ( 옵션 구입품 )
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
표준
720X 계 노즐
NOZZLE, 7202A ASSY KMB-M7720-A0X 0402
전용
NOZZLE, 7203A ASSY KMB-M7730-A0X 0603
NOZZLE, 7204A ASSY KMB -M7740-A0X 1005
NOZZLE, 7205A ASSY KMB-M7750-A0X 1608
NOZZLE, 7206A ASSY KMB-M7760-A0X 2012
NOZZLE, 7207A ASSY KMB-M7770-A0X 3016, 3225
NOZZLE, 7208A ASSY KMB-M7780-A1X SOP 등
기타
BODY, NOZZLE 7202 KHY-M77A1- 0 0X 7202A 용 노즐 선단부만
NZL. 311/7203 KHY- M7711- 04X 7203A 용 노즐 선단부만
NZL. 312/7204 KHY-M7721-03X 7204A 용 노즐 선단부만
NZL. 302/7205 KHN-M7721-05X 7205A 용 노즐 선단부만
NZL. 313/7206 KHY-M7731-03X 7206A 용 노즐 선단부만
BODY,NOZZLE 7207 KMB-M7771-00X 7207A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 7208 KHY-M7741-00X 7208A 용 노즐 선단부만
SPRING KMB-M7714-00X 7202A-7208A 용
NEEDLE PIN 90990-19J019 직경 0.7mm
O-RING KMB-M7716-00X 핀 누름용 O 링
c
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 부품번호 ) 은 발행시의 것입니다 .
부품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으므로 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 확인하여 주십시오 .