YSM40R_Mainte_K.pdf - 第76页

3-7 3 5 노즐 선단 을 클 리닝 합 니다 . 노 즐선 단 클리 닝 테이 프 의 점 착면에 노 즐의 선단 을 수직 으로 수차례 부착시 켜서 더 러 움을 제거 합 니다 . 573C 6- N9 -0 0 c 주의 노즐 을 테이프 에 부착시킨 상태에서 , 노즐 을 돌리거나 기울리 면 테이프의 점착 면이 노 즐에 부 착될 우려가 있습니다 . 6 노즐 스 프링부에 급유합니다 . 전술의 「1 .2. …

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3-6
3
1.2.3 노즐 선단부청소
즐선다소움은, 동봉「노클리.
( ) 우에 , 즐을 , 클리
.
다음같이, 부를 하는
니다 .
c
주의
클리닝 테이프는 , 폐사가 권장하는 클리닝 테이프 (TAPE, CLEANER:KGT-M8895-00X) 만 사용하십시 .
다른 테이프는 점착 부분이 노즐에 부착되어서 실장 불량을 일으킬 우려가 있습니 .
n
요점
클리닝 테의 사용 방에 관한 상한 내용은, 테에 동봉어 있는 설를 참해 주십 .
e
1
노즐합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 안전커
오픈합니다 .
2. 헤드로 부터 소할 노즐을 탈착합니 .
스테이션겸비하고 있을 우는 ,
[ STN 셔터 ] 버튼으로 노즐 스테이션의
셔터열어노즐을 탈착주십시 .
2
노즐청소합니다 .
어블 ( ) 노즐스프링부와 에어
로내등을 제거합니 .
573C4-N9-0 0
3
초음파 척기로 노즐세정합니다 .
1. 초음세척기내용기 ( 비커 ) 노즐을
넣습니다 .
2. 용기노즐이 충분히 잠길때 IPA
넣습니다 .
3. 초음척기물을 넣습 .
4. 초음척을 10 분정도 합니다 .
573C5-N9-00
n
요점
Type504A 노즐이나 Type507A 노즐 등을 초파 세
할 때 , O 을 분리고 노즐 자만 세해 주십
오.
4
에어 로우니다 .
1. 초음세척기에서 노즐을 니다 .
2. 노즐 전체에어 블로우해서 IPA 제거합니
. 노즐스프링부와 에어
주십시 .
에어 블로우
Step 2, 4
에어 블로우 툴(옵션)
노즐 에어경로의 블로우
노즐 스프링부의 블로우
초음파 세척기
Step 3
초음파 세척기
ビーカー
물을 넣는다
IPA를 넣는다
3-7
3
5
노즐 선단리닝니다 .
즐선클리테이착면에 즐의 선단
수직으로 수차례 부착시켜서 움을 제거
니다 .
573C6-N9-0 0
c
주의
노즐을 테이프에 부착시킨 상태에서 , 노즐을 돌리거나 기울리
테이프의 점착면이 노즐에 부착될 우려가 있습니다 .
6
노즐 프링부에 급유합니다 .
전술의「1.2.1 노즐 스프링부의 소와 급유
조해즐의 스프링부에 급유해 주 .
7
노즐드에 되돌립니다 .
탈착한 즐을 드의 원위되돌려 주 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에 , 노즐 스
에 되돌려 주십 .
노즐선단 클리닝 테이프
Step 5
노즐선단 클리닝 테이프
점착면
노즐을 수직으로 부착시킨다
3-8
3
1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해
( / ANC) , 수를 으로 즐을
으로 . ,「ANC 」( ) , 40
즐을 / .
ANC 툴에, MU 용과 RS 2 종류.
다음 / .
MU 헤드ANC 노즐 탈장
노즐 미장착 상태 노즐 장착상태 (아래방향으로 사용)
ANC 노즐 탈장착 툴
MU헤드용
MU헤드용 ANC노즐 탈장착 툴 50X계열, 51X계열 노즐
573C7-N9-00
대상 노즐
사용가능 :50X 노즐 (501A, 502A ), 51X 계열 노즐 (511A, 512A 노즐 등 )