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3-8 3 1 .2. 4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해 서 노 즐 스 테 이 션 ( 옵 션 / 이 후 ANC ) 을 겸 비 하 고 있 는 장 비 에 는 , 유 지 보 수를 위 해 노 즐 스 테 이 션 으로 부 터 노 즐을 손 으로 탈 착 할 경 우 가 있 습 니 다 . 이 때 , 「A NC 노 즐 탈 장 착 툴 」( 이 후 툴 이 라 고 기 재 ) 을 사 용 하 면 , 최 대 4 0 개 의 …

3-7
3
5
노즐 선단을 클리닝합니다 .
노즐선단 클리닝 테이프의 점착면에 노즐의 선단
을 수직으로 수차례 부착시켜서 더러움을 제거합
니다 .
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c
주의
노즐을 테이프에 부착시킨 상태에서 , 노즐을 돌리거나 기울리면
테이프의 점착면이 노즐에 부착될 우려가 있습니다 .
6
노즐 스프링부에 급유합니다 .
전술의「1.2.1 노즐 스프링부의 청소와 급유」를
참조해서 노즐의 스프링부에 급유해 주십시오 .
7
노즐을 헤드에 되돌립니다 .
탈착한 노즐을 헤드의 원위치에 되돌려 주십시오 .
n
요점
노즐 스테이션에서 노즐을 탈착한 경우에는 , 노즐 스테이션의
수납위치에 되돌려 주십시오 .
노즐선단 클리닝 테이프
Step 5
노즐선단 클리닝 테이프
점착면
노즐을 수직으로 부착시킨다

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3
1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해서
노즐 스테이션 ( 옵션 / 이후 ANC) 을 겸비하고 있는 장비에는 , 유지보수를 위해 노즐 스테이션으로 부터 노즐을
손으로 탈착할 경우가 있습니다. 이 때,「ANC 노즐 탈장착 툴」( 이후 툴이라고 기재 ) 을 사용하면 , 최대 40 개
의 노즐을 한꺼번에 탈착 / 장착할 수가 있습니다.
ANC 노즐 탈장착 툴에는, MU 헤드 유닛용과 RS 헤드 유닛용의 2 종류가 있습니다.
다음의 툴을 사용해서 노즐의 탈착 / 장착 방법에 대해서 설명합니다.
█
MU 헤드용 ANC 노즐 탈장착 툴
노즐 미장착 상태 노즐 장착상태 (아래방향으로 사용)
ANC 노즐 탈장착 툴
MU헤드용
MU헤드용 ANC노즐 탈장착 툴 50X계열, 51X계열 노즐
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█
대상 노즐
사용가능 :50X 계열 노즐 (501A, 502A 노즐 등 ), 51X 계열 노즐 (511A, 512A 노즐 등 )

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3
█
MU 헤드용 노즐의 일괄 탈착방법
1
툴을 노즐 스테이션에 세팅합니다 .
e
1. 비상정지버튼을누르고 ,장비의안전커버를
오픈합니다 .
2. 탈착할노즐의위치에맞춰서 ,노즐스테이션
내의노즐에툴을똑바로끼워넣습니다 .
3. 툴이노즐에확실히들어가있는지확인합니
다.
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2
노즐 스테이션의 셔터를 오픈합니다 .
1. [ 장치 ]-「헤드」화면을오픈합니다 .
2.「테이블선택」으로헤드유닛을선택합니다 .
3. [ 노즐 STN셔터 ] 버튼을눌러서노즐스테이
션의셔터를열어주십시오 .
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n
요점
툴을 세팅할 때에는 , 노즐 스테이션에 있는 QR 코드와 툴의
QR Code 가 기재되어 있는 위치를 맞춰서 세팅합니다.
3
툴을 똑바로 들어 올립니다 .
툴을똑바로천천히들어올려주십시오 .
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n
요점
노즐 선단이 셔터 등에 부딪히지 않도록 , 툴을 똑바로 천천히
위로 들어 올립니다.
c
주의
툴을 거세게 들어 올리거나 , 무리한 힘을 가하면 노즐이나 노즐
스테이션을 파손시킬 우려가 있습니다 .
4
노즐 스테이션의 셔터를 닫습니다 .
1. 장비의안전커버를닫고 ,비상정지를해제합
니다 .
2. 재차[ 노즐 STN셔터 ] 버튼을눌러서 ,노즐
스테이션의셔터를닫아주십시오 .
노즐 스테이션 셔터 열기
Step 2
테이블 선택
[노즐STN셔터] 버튼
ANC 노즐 탈장착 툴의 세팅
Step 1
탈착할 노즐에 맞춰서 툴을
똑바로 끼워서 넣는다
노즐의 홈과 판 스프링의 돌기부가
맞물려 있는지 확인한다
QR코드
QR Code
ANC 노즐 탈장착 툴 들어 올리기
Step 3
셔터에 부딪히지 않도록
툴을 똑바로 들어 올린다