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3-17 3 4 구리스 를 주입합니 다 . 1 . 우측그 림과 같이 구리 스건 삽 입 구멍 으로 구리 스 니 플이 보 이 도 록 헤드 유닛 을 손 으 로 이 동 시킵니다 . 2. 구리 스 건 (3 0° 굽은타입 ) 으로 구리 스 니 플 로 부터 지정 구리스 를 주입 합니다 . 57 314 - N 9 - 0 0 n 요점 새 로 운 구리 스가 틈 새 로 부 터 스 며 나올 때 까 지 주 입 해 …

3-16
3
2.1 X-Y 축 (4 빔 )
4빔 사양 장비의 점검•청소•급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 ,「제 5 장 급유개
소 일람」을 참조해 주십시오 . 구리스건( 표준노즐과 굽은타입 노즐 ) 과 지정 구리스 (NSL) 를 준비해 주십시오 .
2.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급 유( 4 빔)
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 . 홀
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 사각건을 Y 축 리니어부와 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 분리합니다 .
X 축의 구리스 비산방지 커버를 떼어내 주십시오 .
1. 십자 드라이버로 구리스 비산방지 커버 ( 모터
측 ) 의 고정 나사를 풉니다 .
2. 헤드 유닛을 모터쪽으로 이동시킵니다 .
3. 십자 드라이버로 모터측과 반대쪽의 커버 고정
나사를 분리해서 구리스 비산방지 커버를 화살
표 방향으로 당겨서 떼어냅니다 .
57312-N9- 00
참고
X 축의 구리스 비산방지 커버를 장착할 때에는 , 상기의 반대
순서로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 헤드 유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류도 닦습니다 .
57313 -N9- 0 0
n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈도 깨끗하게 닦아 주십
시오 . 또한 , 청소후에 이물질의 부착 여부도 확인하여
주십시오 .
Step 2
비산방지 커버의 분리
비산방지 커버
커버 고정나사커버 고정나사(모터측)
볼스크류의 청소
Step 3
와이퍼
볼스크류

3-17
3
4
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과 같이 구리스건 삽입 구멍으로 구리
스 니플이 보이도록 헤드 유닛을 손으로 이동
시킵니다 .
2. 구리스 건 (30°굽은타입 ) 으로 구리스 니플로
부터 지정 구리스를 주입합니다 .
57314 -N9- 0 0
n
요점
새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올때까지 주입해 주십
시오 .
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 헤드 유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고인 여분의 구
리스를 닦아냅니다 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고인 여분의
구리스도 닦아냅니다 .
57315-N9-00
6
워밍업을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 비산방지 커버를 원상태로 장착합니다 .
3. 장비의 커버를 닫고 , 대차를 세팅한 후 , 비상
정지를 해제합니다 .
4. 워밍업 화면을 표시해서 , 8 분정도 워밍업을
해 주십시오 .
e
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 워밍업 종료후 , 비상정지 버튼을 누르고 비산
방지 커버를 떼어냅니다 .
2. 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고여있는 구리스
를 닦아 주십시오 .
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step6~7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
8
구리스 비산방지 커버를 원상태로 장착
합니다 .
구리스의 주입
Step 4
구리스 니플
구리스 건(30°굽은타입)
여분의 구리스 닦기
Step 5
여분의 구리스

3-18
3
2.1.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 (4 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 사각건을 Y 축 리니어부와 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 헤드 유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 가이드 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이퍼
( 크린룸 용 ) 등으로 오래된 구리스와 더러움
을 닦아 주십시오 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 반대쪽
가이드도 닦아 주십시오 .
57316 - N9- 00
3
중앙의 니플에 구리스를 주입합니다 .
1. 헤드 유닛을 모터측으로 이동시킵니다 .
2. 구리스건 ( 굽은 타입 ) 을 사용해서 , 장비 중앙
의 구리스 니플 ( 합계 2 군데 ) 로부터 X 축
가이드용 구리스 니플 ( 합계 4 군데 ) 로부터
지정 구리스 (NSL) 를 주입해 주십시오 .
57317 - N9 - 00
가이드의 청소
Step 2
와이퍼
가이드
구리스의 주입
Step 3
중앙 구리스 니플 (2군데)
구리스건 (굽은 타입)