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56 9.2 センサヘッド設置調整手順 • センサヘッド粗位置決めの手順 ノート 本動作前に、吸着ノズルを装着ヘッドに装着しておく必要がありま す。 (1) リード浮きユニット校正治具を鏡面側が下になるように治具ス トッカに置きます。 (2) “ センサヘッド設置用 調整 ” 画面にて、 [ 治具部品吸着&固 定カ メラ移動 ] ボタンを押して、 [ 粗位置決め移動 ] ボタンを押し、 リード浮きユニット校正治具をリード浮き検出センサの…

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9.2 センサヘッド設置調整手順
9.2 センサヘッド設置調整手順
ノズル旋回中心
理想平面
dL
1
L オフセット
理想平面
直行理想直線
実際のY軸移動
センタ
X
Y
3
y オフセット
検出中心
x オフセット
z オフセット
ビーム座標系
Y
dx
dy
dz
2
x
高さ調整固定ボルト(4か所)
高さ調整ボルト(4か所)
偏心ピンをまわすことにより
 傾き1が変わります。
全体固定ボルト(4か所)
センサヘッド全体のXY
位置および3
 全体固定ボルトを緩めて調整します。
Fig. 27
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9.2 センサヘッド設置調整手順
センサヘッド粗位置決めの手順
ノート
本動作前に、吸着ノズルを装着ヘッドに装着しておく必要がありま
す。
(1) リード浮きユニット校正治具を鏡面側が下になるように治具ス
トッカに置きます。
(2) センサヘッド設置用調整 画面にて、 [ 治具部品吸着&固定カ
メラ移動 ] ボタンを押して、 [ 粗位置決め移動 ] ボタンを押し、
リード浮きユニット校正治具をリード浮き検出センサの計測中
心に移動させます。
ノート
うまく吸着できないときは、校正治具設置オフセットにだい
たいのズレ量を入れて調整します。
(3) [ アライメント画面 ON/OFF] ボタンにより、リード浮き検出ユ
ニットのモニタ出力画面にグラフ表示を行います。
ノート
キーボードの [Ctrl] キーを 2 度押しすると、画面がリード浮
きユニットのモニタ出力画面に切替ります。
Fig. 28 アライメント画面
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手順
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9.2 センサヘッド設置調整手順
(4) センサヘッドの
ω
1 方向固定ネジを緩めます。
グラフを見ながら、センサヘッドの粗位置決めを行います。
グラフが画面中央に出るように、全体位置と
ω
1 方向の角度を
調整します。高さ方向は 0 位置から多少ずれていても問題あ
りません。
(5) [Ctrl] キーを 2 度押しして画面を元に戻します。
(6) [ アライメント画面 ON/OFF] ボタンにより、リード浮き検出ユ
ニットのモニタ出力画面上のグラフ表示を消します。
(7) [ 治具部品返却 ] ボタンを押してリード浮き校正治具を戻しま
す。
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