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57 9.2 センサヘッド設置調整手順 (4) センサヘッドの ω 1 方向固定ネジを緩めます。 • グラフを見ながら、センサヘッドの粗位置決めを行います。 • グラフが画面中央に出るように、全体位置と ω 1 方向の角度を 調整します。高さ方向は 0 位置から多少ずれていても問題あ りません。 (5) [Ctrl] キーを 2 度押しして画面を元に戻します。 (6) [ アライメント画面 ON/OFF] ボタンにより、リード浮き検出ユ…
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9.2 センサヘッド設置調整手順
•
センサヘッド粗位置決めの手順
ノート
本動作前に、吸着ノズルを装着ヘッドに装着しておく必要がありま
す。
（1） リード浮きユニット校正治具を鏡面側が下になるように治具ス
トッカに置きます。
(2) “ センサヘッド設置用調整 ” 画面にて、 [ 治具部品吸着＆固定カ
メラ移動 ] ボタンを押して、 [ 粗位置決め移動 ] ボタンを押し、
リード浮きユニット校正治具をリード浮き検出センサの計測中
心に移動させます。
ノート
うまく吸着できないときは、校正治具設置オフセットにだい
たいのズレ量を入れて調整します。
(3) [ アライメント画面 ON/OFF] ボタンにより、リード浮き検出ユ
ニットのモニタ出力画面にグラフ表示を行います。
ノート
キーボードの [Ctrl] キーを 2 度押しすると、画面がリード浮
きユニットのモニタ出力画面に切替ります。
Fig. 28 アライメント画面
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手順
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9.2 センサヘッド設置調整手順
(4) センサヘッドの
ω
1 方向固定ネジを緩めます。
•
グラフを見ながら、センサヘッドの粗位置決めを行います。
•
グラフが画面中央に出るように、全体位置と
ω
1 方向の角度を
調整します。高さ方向は 0 位置から多少ずれていても問題あ
りません。
(5) [Ctrl] キーを 2 度押しして画面を元に戻します。
(6) [ アライメント画面 ON/OFF] ボタンにより、リード浮き検出ユ
ニットのモニタ出力画面上のグラフ表示を消します。
(7) [ 治具部品返却 ] ボタンを押してリード浮き校正治具を戻しま
す。
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9.2 センサヘッド設置調整手順
•
X 軸、Y 軸、L 軸、Z 軸移動の手順
（1） ヘッドを選択します。
(2) 移動軸を指定します。
(3) 移動させる速度を指定します。
(4) 移動させる方向の矢印ボタンを押します。
•
指定した軸が移動します。
•
設置用スキャンの手順
（1） “ センサヘッド設置用調整 ” 画面において、 [ 設置用スキャン ]
ボタンを押します。
(2) 計測するヘッドおよびノズルを選択します。
(3) “ スキャン回数 ” ( 計測回数 ) を設定します。
•
6 回程度を設定してください。
(4) “ 方向指定 ” を指定します。
•
測定する際の治具の方向を指定します。
(5) [ スキャン実行 ] ボタンを押します。
•
設置用スキャンが実行されます。
ノート
(a) リード浮き認識ミスが発生する場合があります。特に
ω
3
方向のずれが大きい場合に発生します。
(b) すべての装着ヘッドおよびノズルで、全角度を計測する必
要があります。
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手順
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