FX3_Installation_Guide_Rev1.0_C - 第11页
Rev1.00 安装要领书 7 ⑥ 用手旋转使调节器 ⑤⑥ 和地板相接触，从那里开始用扳手旋转 15 °左右安装中心的调节器。 （由于若旋转 15 °以上水平就会发生偏差，所以请确认水平仪。） ⑦ 锁定调节器螺母。此时，请确认在锁定状态下是否满足规定值。 ⑧ 固定调节器的六角孔螺栓 A （ ３ 个）。 图 4-1-3 4-2. 调节脚的地面防滑 标准的调节脚应做地面防滑处理。（ ６ 处） ① 机器调整水平后，转动 M8×30 （ 18 …
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4. 基板传送高度和水平的调整
4-1. 水平调整
<规格>
前后方向： 水平仪刻度（0.05mm/div）±1 刻度
左右方向： 水平仪刻度（0.05mm/div）±2 刻度
传送高度： 日本国内 H = 900 mm
至于海外，由于与国内的高度标准不一样，所以请满足客户的传送高度。
注）使用的水平仪为 1Div = 0.05 mm/M
<顺序>
① 拆下 4 个角的开闭保护罩的定位螺钉，打开包含机
器中央在内的开闭保护罩 6 处，拧松调节螺母。
另外，拧松调节器皿形部的带六角孔的螺钉（1 处
3 个）。
（确认调节器脚应可以自由移动。）
② 用扳手旋转调节器脚部，调节器⑤、⑥偏离地板安
装面。（为了在①、②、③、④处进行水平调整）
③ 调整前后方向的水平。把水平仪安装在底座车架两
边上面（图 4-1-2 双重线部分），上下移动调节
器①③、②④，调整为等级设定表的设定值±1 刻
度以内。
④ 调整左右方向的水平。使水平仪朝向侧面，
上下移动调节器①②、③④，调整为等级设
定表的设定值±2 刻度以内。（①②或③④
的调整若按同一角度进行能够抑制在前后方
向上的偏差）
⑤ 反复进行③、④的
操作，进行调整使底座上
面的水平在规定值以内。
②
⑥
④
后侧
①⑤ ③
前侧
图 4-1-1 从下面看到的主机图
图 4-1-2
水平仪
水平仪
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⑥ 用手旋转使调节器⑤⑥和地板相接触，从那里开始用扳手旋转 15°左右安装中心的调节器。
（由于若旋转 15°以上水平就会发生偏差，所以请确认水平仪。）
⑦ 锁定调节器螺母。此时，请确认在锁定状态下是否满足规定值。
⑧ 固定调节器的六角孔螺栓 A（３个）。
图 4-1-3
4-2. 调节脚的地面防滑
标准的调节脚应做地面防滑处理。（６处）
① 机器调整水平后，转动 M8×30（18 处）接触地面，从其位置转动 45 度。
② 用 M8 螺母拧紧固定。
图 4-2-1
水平仪刻度（设定值）的看法
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5. XY装置关系
5-1. 取下X轴框架
取下固定 X 轴框架的 Y 轴固定板和安装注意标签。
※ 图为中央侧，但请把左右都拆卸下来。
请把 X 轴框架固定到靠近机器外侧。
最后请确认 X 轴的前后移动动作。
图 5-1