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Kit Name Rank Q'ty 番号 Pa rt N o . キット名 品番 数量 ﾗﾝｸ 頁 Pa ge No. 25 キットリスト KIT LIST 1 92 N610095857AA MULTIFUNCTIO NAL TRANS FER UNIT :NP M 汎用型転写ユニット(メカ):NP M O 305 1 93 N610102174AA MULTIFUNCTIO NAL TRANS FER UNIT (H) …
25
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U49
( KEJM5DS-00-25 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
25
キットリスト
KIT LIST
1
92
N610095857AA MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT:NP
M
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O
305
1
93
N610102174AA MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O
325
1
94
N610105847AA SCRAPER
SCRAPER
O
327
1
95
N610072046AA GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O
329
1
96
N610072047AA GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O
331
U50
--
( KEJM5DS-00-25 )
26
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U51
( KEJM5DS-00-26 )