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26 キットレイアウト KIT LAYOUT - - U51 ( KEJM5DS-00-26 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
25
キットリスト
KIT LIST
1
92
N610095857AA MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT:NP
M
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O
305
1
93
N610102174AA MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O
325
1
94
N610105847AA SCRAPER
SCRAPER
O
327
1
95
N610072046AA GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O
329
1
96
N610072047AA GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O
331
U50
--
( KEJM5DS-00-25 )
26
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U51
( KEJM5DS-00-26 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
26
キットリスト
KIT LIST
1
97
N610076379AA MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
O
333
1
98
N610081724AA Standard Calibration Jig Kit:NPM
標準キャリブレーションジグキット:NPM
O
335
1
99
N610102523AA Standard Calibration Jig Case:NPM
標準キャリブレーションジグ用ケース:NPM
O
339
1
100
N610131603AA
Machine Adjustment Jig Kit(Common Set):NPM
本体調整用ジグキット(共通部):NPM
O
341
1
101
N610112814AB XY Plane Calibration Jig:NPM-D
面補正ジグ:NPM-D
O
343
1
102
N610133833AA Machine Adjustment Jig Case:NPM
本体調整用ジグ用ケース:NPM
O
345
1
103
N610146224AA Accuracy Verification Jig Kit:NPM
精度検証用ジグキット:NPM
O
347
1
104
N610102525AB
Accuracy Verification Jig Case:NPM
精度検証用ジグ用ケース:NPM
O
351
1
105
N610102524AA Pick-Up Height Teach Jig Case:NPM
吸着高さティーチジグ用ケース:NPM
O
353
1
106
N610122649AA
Hight Sensor & Mount Hight Teach Jig Set:NPM
高さセンサ&装着高さティーチ治具セット:NPM
O
355
U52
--
( KEJM5DS-00-26 )