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第 5 堂 其 它功能 RfivO3 5-4-4-4 班形基 准位置 一置 从机 器原点 到基板 基准恻 的布的 位置. 图 卜 22 外形 基拳位 的设 ・ 1） 设 置项目 No. 项 H 设 置内容 1 X 停 止挡销 的位置 2 Y 传送伯 盛 准轨道 的位置 2） 设 置方法 使用 HOD, 通过 示教来 输入. 此时， 分别示 州与九 当输 入光 m 在 X 上时 仅读入 X 轴的 值， 输入光 标在V I： 时仅读 入 …