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第 5 堂 其 它功能 RfivO3 5-4T-13 真空台 设置固 定基板 时的 各项真 空值. 若 选择真 空台， 则 显 ， j ；如下 图的 真空 台 设置 画面. 图 5-35 真 空合设 量画面 1） 设 置项目 No. 项目 设 置内容 1 打外 真空延 退时间 固 定时， 从停止 传感器 打开到 真 空打开 的时同 2 支 撑台上 升延 迟时间 固 定时, 从真 空打开 到克 撑台而 开始上 升的时 间 3 等待 生产…