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4OM-1609 1-56 1 章 4. メンテナンス方法 1007-003 4.2.2 ノズルフィルタの挿入方法 • 高速ノズルの場合 (1) ノズル用フィルタを穴部にセットする。 穴部 ノズル用フィルタ F4A39-4 (2) フィルタ押え用ブロックをフィルタセット開口部に挿入する。 フィルタ押え用ブロック F4A39-5 （3) ノズルフィルタ開口部をフィルタ挿入治具に向け、ガイド部にノズ ルを挿入する。 ノート ノズ…
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1 章 4. メンテナンス方法
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4.2 ノズルフィルタの交換
4.2.1 ノズルフィルタの取外し方法
以下の図のようにフィルタ抜取り治具を使用して、ノズルフィルタを押し
出します。
フィルタ抜取り治具
吸着ノズル
押す
ノズルフィルタを押し出す
F4A39-3
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1 章 4. メンテナンス方法
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4.2.2 ノズルフィルタの挿入方法
•
高速ノズルの場合
(1)ノズル用フィルタを穴部にセットする。
穴部
ノズル用フィルタ
F4A39-4
(2)フィルタ押え用ブロックをフィルタセット開口部に挿入する。
フィルタ押え用ブロック
F4A39-5
（3)ノズルフィルタ開口部をフィルタ挿入治具に向け、ガイド部にノズ
ルを挿入する。
ノート
ノズルフィルタ開口部の向きに注意してください。
F4A39-6
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1 章 4. メンテナンス方法
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(4)ノズルが傾かないように指で横方向から押えて固定する。
ノズル
横に押える
F4A39-7
（5)スライド部を本体アクリルブロック端面まで押し、ノズル用フィル
タを挿入する。
アクリルブロック端面スライド部
押す
F4A39-8