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4OM-1609 1-59 1 章 4. メンテナンス方法 1007-003 (4) ノズルが傾かないようにノズルフランジ下面を指で上方向に押えて 固定する。 ノズル 上 に 押 え る F4A39-12 （5) スライド部を本体アクリルブロック端面まで押し、ノズル用フィル タを挿入する。 アクリルブロック端面 スライド部 押す F4A39-13
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1 章 4. メンテナンス方法
1007-003
•
中異形ノズルの場合
(1)ノズル用フィルタを穴部にセットする。
穴部
ノズル用フィルタ
F4A39-9
(2)フィルタ押え用ブロックをフィルタセット開口部に挿入する。
フィルタ押え用ブロック
F4A39-10
（3)ノズルフィルタ開口部をフィルタ挿入治具に向け、ガイド部にノズ
ルを挿入する。
ノート
ノズルフィルタ開口部の向きに注意してください。
ガイド部
F4A39-11
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1 章 4. メンテナンス方法
1007-003
(4)ノズルが傾かないようにノズルフランジ下面を指で上方向に押えて
固定する。
ノズル
上
に
押
え
る
F4A39-12
（5)スライド部を本体アクリルブロック端面まで押し、ノズル用フィル
タを挿入する。
アクリルブロック端面スライド部
押す
F4A39-13
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1-60
1 章 5. 消耗部品と重要保守品
1103-004
5. 消耗部品と重要保守品
5.1 消耗部品リスト
1 年以内に消耗する可能性がある部品リストです。
購入される場合は、日立ハイテクノロジーズ営業部門または販売代理店に
連絡してください。
品名 部品番号 部品名 使用数 推奨数 / 年
ﾉｰﾄ (a)
立体分解図 備考
ノズル（HV81C） HV81C--- ASSY,NOZZLE（HV81C） 30 30
ノズル（HV03C） HV03C--- ASSY,NOZZLE（HV03C） 30 30
ノズル（HB03C） HB03C--- ASSY,NOZZLE（HB03C） 30 30
ノズル（HB04C） HB04C--- ASSY,NOZZLE（HB04C） 30 30
ノズル（HA04C） HA04C--- ASSY,NOZZLE（HA04C） 30 30
ノズル（HA05C） HA05C--- ASSY,NOZZLE（HA05C） 30 30
ノズル（HA09C） HA09C--- ASSY,NOZZLE（HA09C） 30 30
ノズル（PA05C） PA05C--- ASSY,NOZZLE（PA05C） 30 30
ノズル（HG31C） HG31C--- ASSY,NOZZLE（HG31C） 30 30
ノズル（HG51C） HG51C--- ASSY,NOZZLE（HG51C） 30 30
ノズル（HG21C） HG21C--- ASSY,NOZZLE（HG21C） 30 30
真空フィルタ 225B0572 AIR LINE EQPT 60 240 Fig. M-6,
Fig. SA-1
フッ素シート 212A2743 GUIDE 1 1 Fig. C2-1
ウレタンクランプ
ASSY
0920715E
09207152
クランパ ヨウドウ クミ
クランパ コテイ クミ
1
1
1
1
Fig. C2-5
シールクミ
フラットリング
取付ボルト
0920716C
0920H159
0920H158
シールクミ
シール T2
アナボ 01605B0
1
1
6
1
1
6
Fig. C2-6 カッタ部
揺動側
ローラ用
ディスククミ
カッタ刃
カッタ刃取付ボルト
0920716D
0920H127
221A0231
ディスククミ
ディスク
ボタンボルト
2
2
6
2
2
6
Fig. C2-6 ノート
（b）
ノズルフィルタ 225A0045 ノズルフィルタ 30
(15)
960
(480)
ノート
（c）
T4A15
ノート
(a)推奨数は、参考値です。
(b)部品の交換方法については、“3. メンテナンスか所”を参照してく
ださい。
(c)カッタ刃の交換については、危険をともないますので、当社サービ
ス員にご相談ください。
また、カッタ刃交換時は、ボルトも交換をお願いします。
(d)
() は、多機能ヘッド使用装置の場合です。
部品の交換方法については、“1 章3. メンテナンスか所”を参照してく
ださい。