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4OM-1609 2-16 2 章 2. 起動案内 起動案内コード 表示区分 A ( 起動案内の概要 ) 表示区分 B ( 起動案内の詳細 ) 050409 手動搬送 生産機種の基板 Y サイズとコンベア幅が一致していません。機種切替してくださ い。 050501 コンベア幅段取り コンベア幅は 49.5~461.5mm になるように指定してください。 基板 Y サイズ / オフセット / クリアランスの合計値が動作範囲を超えています。…
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2 章 2. 起動案内
起動案内コード 表示区分 A ( 起動案内の概要 )
表示区分 B ( 起動案内の詳細 )
050207 基板有無確認
供給コンベア上に基板が 2 枚有る可能性があります。減速センサ上の基板を取除
くか停止センサ上に移動する、または基板記憶情報を削除してください。
050208 基板有無確認
A レーン供給コンベア上に基板が 2 枚有る可能性があります。減速センサ上の基
板を取除くか停止センサ上に移動する、または基板記憶情報を削除してください。
050209 基板有無確認
B レーン供給コンベア上に基板が 2 枚有る可能性があります。減速センサ上の基
板を取除くか停止センサ上に移動する、または基板記憶情報を削除してください。
05020a 基板有無確認
供給側シャトルコンベア上に基板が 2 枚有る可能性があります。減速センサ上の
基板を取除くか停止センサ上に移動する、または基板記憶情報を削除してくださ
い。
05020b 基板有無確認
排出側シャトルコンベア上に基板が 2 枚有る可能性があります。減速センサ上の
基板を取除くか停止センサ上に移動する、または基板記憶情報を削除してくださ
い。
050301 ファームウェアバージョン確認
搬送ドライバにファームウェアが最新でないものがあります。
ファームウェアを最新に更新してください。
050401 手動搬送
PP データで指定されているサイズの基板 (X>260mm) は上流位置に取り込めませ
ん。
050402 手動搬送
排出コンベア上の基板を取除いてから操作してください、ストッパで突き上げる
可能性があります。
050403 手動搬送
上流位置のセンサ検出状態からは取り込めません。
基板を供給コンベア上に置くか、リカバリメニューで下流位置に移載してくださ
い。
050404 手動搬送
PP データで指定されているサイズの基板（X>260mm）は供給コンベアに取り込め
ません。
050405 手動搬送
供給コンベアの減速センサ上に基板があります。基板を挟み込む可能性があるた
め動作できません。
050406 手動搬送
排出側シャトルコンベアの減速センサ上に基板があります。基板を挟み込む可能
性があるため動作できません。
050407 手動搬送
現在の生産機種では A レーン指定動作できません。機種切替するか B レーンを指
定してください。
050408 手動搬送
現在の生産機種では B レーン指定動作できません。機種切替するか A レーンを指
定してください。
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2 章 2. 起動案内
起動案内コード 表示区分 A ( 起動案内の概要 )
表示区分 B ( 起動案内の詳細 )
050409 手動搬送
生産機種の基板 Y サイズとコンベア幅が一致していません。機種切替してくださ
い。
050501 コンベア幅段取り
コンベア幅は 49.5~461.5mm になるように指定してください。
基板 Y サイズ / オフセット / クリアランスの合計値が動作範囲を超えています。
050502 コンベア幅段取り
コンベア幅は 49.5~382.5mm になるように指定してください。
基板 Y サイズ / オフセット / クリアランスの合計値が動作範囲を超えています。
050503 コンベア幅段取り
W1 移動先に動作範囲の値が設定されています。
A レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
050504 コンベア幅段取り
W1 移動先に動作範囲の値が設定されています。
A レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
050505 コンベア幅段取り
W2 移動先に動作範囲の値が設定されています。
A レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
050506 コンベア幅段取り
W2 移動先に動作範囲の値が設定されています。
A レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
050507 コンベア幅段取り
W3 移動先に動作範囲の値が設定されています。
B レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
050508 コンベア幅段取り
W3 移動先に動作範囲の値が設定されています。
B レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
050509 コンベア幅段取り
W1 と W2 が干渉する可能性があります。
A レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
05050a コンベア幅段取り
W2 と W3 が干渉する可能性があります。
A/B レーンの基板サイズ / オフセット / クリアランスを確認してください。
05050b コンベア幅段取り
コンベア幅の目的位置がバックアップピンと干渉します。バックアップピン交換
を実行してください。
050601 中間コンベア
供給側中間コンベアの回転方向設定と本体搬送方向が一致しません。
中間コンベアの回転方向を切替えてください。
050602 中間コンベア
供給側中間コンベアの非常停止スイッチが押されています、非常停止を解除して
ください。
050603 中間コンベア
供給側中間コンベアの安全カバーが開いています、安全カバーを閉じください。
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2 章 2. 起動案内
起動案内コード 表示区分 A ( 起動案内の概要 )
表示区分 B ( 起動案内の詳細 )
050604 中間コンベア
前工程通信方式が『プッシャー』に設定されています。
中間コンベア接続時は『プッシャー』モードを使用できません。
050611 中間コンベア
排出側中間コンベアの回転方向設定と本体搬送方向が一致しません。
中間コンベアの回転方向を切替えてください。
050612 中間コンベア
排出側中間コンベアの非常停止スイッチが押されています、非常停止を解除して
ください。
050613 中間コンベア
排出側中間コンベアの安全カバーが開いています、安全カバーを閉じください。
050701 シャトルコンベア
供給側シャトルコンベアの非常停止スイッチが押されています、非常停止を解除
してください。
050702 シャトルコンベア
供給側シャトルコンベアの安全カバーが開いています、安全カバーを閉じくださ
い。
050703 シャトルコンベア
供給側シャトルコンベアの減速センサを検出ました。基板挟み込みの可能性があ
ります、基板を取り除いてください。
050704 シャトルコンベア
供給コンベアの減速センサを検出ました。基板挟み込みの可能性があります、基
板を取り除いてください。
050705 シャトルコンベア
A レーン供給コンベアの減速センサを検出ました。基板挟み込みの可能性があり
ます、基板を取り除いてください。
050706 シャトルコンベア
B レーン供給コンベアの減速センサを検出ました。基板挟み込みの可能性があり
ます、基板を取り除いてください。
050707 シャトルコンベア
装置システム／前工程基板授受位置の設定値に動作範囲外の値が設定されていま
す。基板 Y 寸法との合計が 467mm 以下になるよう設定してください。
050708 シャトルコンベア
装置システム／前工程排出方式を『SMEMA』に設定してください。テスト運転の
前後工程信号が『使用しない』に設定されていないか確認してください。
050709 シャトルコンベア
装置システム／前工程基板授受位置 A レーン／ B レーンに同じ値を設定してくだ
さい。
050711 シャトルコンベア
排出側シャトルコンベアの非常停止スイッチが押されています、非常停止を解除
してください。
050712 シャトルコンベア
排出側シャトルコンベアの安全カバーが開いています、安全カバーを閉じくださ
い。
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