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4OM-1609 3-1 18 3 章 3. 異常 ID と復帰方法 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 511213 搬送部準備動作異常 基板ストッパ (BL) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。 配線の確認及びリミットの調整をしてください。 511214 搬送部準備動作異常 基板ストッパ (BL) の上昇が正常に動作していません。 基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。 511…
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
511102
ヘッド準備動作異常 ( 前 )
準備動作処理中に異常が発生したため、処理を中断しました。
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511103
ヘッド準備動作異常 ( 前 )
準備動作処理中に異常が発生したため、処理を中断しました。
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511104
ヘッド準備動作異常 ( 前 )
準備動作中にノズルが落下した可能性があります。
ヘッドに装着されているノズルを確認して下さい。
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511201
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (L) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511202
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (L) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511203
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (L) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511204
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (R) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511205
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (R) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511206
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (R) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511207
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AL) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511208
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AL) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511209
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AL) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511210
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AR) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511211
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AR) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511212
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AR) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
1007-003
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
511213
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511214
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511215
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511216
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511217
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511218
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511301
追加押し込み動作異常
追加押し込み動作が完了しませんでした。
安全カバーを開け、装着部品を確認し、除去または修正してください。
T4C12
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
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3.13 自動教示
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
600101 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
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600102 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました
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600103 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
座標計算で異常が発生しました
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600104 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
XY ビームデータ設定で異常が発生しました
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600105 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
XY ビーム動作で異常が発生しました
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600106 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
XY ビーム動作でタイムアウトが発生しました
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600107 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
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600108 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
部品認識カメラの基準マークの認識に失敗しました
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600109 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
装置基準マーク ( 市松ピン ) の認識に失敗しました
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60010a 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
ガラス治具基板上の市松マークの認識に失敗しました
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600201 部品認識カメラオフセット教示
ガラス治具の認識ができませんでした
ガラス治具置き場に治具が設置されていることを確認してください ( ヘッド上に
ノズルがない可能性や真空が ON していない可能性もあるので確認してください )
600202 部品認識カメラオフセット教示
教示結果が許容値に入りませんでした
ガラス冶具が正しく吸着できているか確認して下さい。
吸着できていなときは、教示プレートオフセットで調整してください。
600203 部品認識カメラオフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました
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600204 部品認識カメラオフセット教示
座標計算で異常が発生しました
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