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4OM-1609 3-124 3 章 3. 異常 ID と復帰方法 1007-003 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 600509 基準マーク位置オフセット教示 回転中心フライ認識の治具収納動作で異常が発生しました ----- 60050a 基準マーク位置オフセット教示 回転中心フライ認識の HL 軸、NL 軸原点復帰開始時に異常が発生しました ----- 60050b 基準マーク位置オフセット教示 回転中心フライ認識の …
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
600410 ヘッド回転中心オフセット教示
L 軸原点復帰開始時に異常が発生しました
-----
600411 ヘッド回転中心オフセット教示
L 軸原点復帰動作で異常が発生しました
-----
600412 ヘッド回転中心オフセット教示
Z 軸回転開始時に異常が発生しました
-----
600413 ヘッド回転中心オフセット教示
Z 軸回転動作で異常が発生しました
-----
600414 ヘッド回転中心オフセット教示
L 軸下降動作開始時に異常が発生しました
-----
600415 ヘッド回転中心オフセット教示
L 軸下降動作で異常が発生しました
-----
600416 ヘッド回転中心オフセット教示
ヘッド回転中心オフセット教示で異常が発生しました
-----
600501 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識でガラス治具の認識ができませんでした
ガラス治具置き場に治具が設置されていることを確認してください ( ヘッド上に
ノズルがない可能性や真空が ON していない可能性もあるので確認してください )
600502 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識時の認識コマンド応答に異常がありました
-----
600503 基準マーク位置オフセット教示
基準マークを認識できませんでした
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600504 基準マーク位置オフセット教示
基準マーク認識時の認識コマンド応答に異常がありました
-----
600505 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の座標計算で異常が発生しました
-----
600506 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の治具吸着開始時に異常が発生しました
-----
600507 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の治具吸着動作で異常が発生しました
-----
600508 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の治具収納開始時に異常が発生しました
-----
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
600509 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の治具収納動作で異常が発生しました
-----
60050a 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の HL 軸、NL 軸原点復帰開始時に異常が発生しました
-----
60050b 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の HL 軸、NL 軸原点復帰動作で異常が発生しました
-----
60050c 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の DD 軸回転開始時に異常が発生しました
-----
60050d 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の DD 軸回転動作で異常が発生しました
-----
60050e 基準マーク位置オフセット教示
回転中心フライ認識の XY ビームデータ設定で異常が発生しました
-----
60050f 基準マーク位置オフセット教示
XY ビーム動作で異常が発生しました
-----
600510 基準マーク位置オフセット教示
XY ビーム動作でタイムアウトが発生しました
-----
600511 基準マーク位置オフセット教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
-----
600512 基準マーク位置オフセット教示
基準マーク認識の座標計算で異常が発生しました
-----
600513 基準マーク位置オフセット教示
XY ビーム動作で異常が発生しました
-----
600514 基準マーク位置オフセット教示
XY ビーム動作でタイムアウトが発生しました
-----
600515 基準マーク位置オフセット教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
-----
600601 ノズル位置オフセット教示
ノズルを認識できませんでした
ノズルが装着されていること、正しいノズル配置データが設定されていることを
確認してください
600602 ノズル位置オフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました
-----
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
600603 ノズル位置オフセット教示
座標計算で異常が発生しました
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600604 ノズル位置オフセット教示
DD 軸回転開始時に異常が発生しました
-----
600605 ノズル位置オフセット教示
DD 軸回転動作で異常が発生しました
-----
600606 ノズル位置オフセット教示
HL 軸、NL 軸原点復帰開始時に異常が発生しました
-----
600607 ノズル位置オフセット教示
HL 軸、NL 軸原点復帰動作で異常が発生しました
-----
600608 ノズル位置オフセット教示
XY ビームデータ設定で異常が発生しました
-----
600609 ノズル位置オフセット教示
XY ビーム動作で異常が発生しました
-----
60060a ノズル位置オフセット教示
XY ビーム動作でタイムアウトが発生しました
-----
60060b ノズル位置オフセット教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
-----
600701 フライ認識オフセット教示
基準マークの停止認識ができませんでした
-----
600702 フライ認識オフセット教示
基準マークのフライ認識ができませんでした
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600703 フライ認識オフセット教示
ヘッド停止認識時の認識コマンド応答に異常がありました
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600704 フライ認識オフセット教示
フライ認識時の認識コマンド応答に異常がありました
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600705 フライ認識オフセット教示
座標計算で異常が発生しました
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600706 フライ認識オフセット教示
XY ビームデータ設定で異常が発生しました
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