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4OM-1609 3-158 3 章 3. 異常 ID と復帰方法 1007-003
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
1007-003
3.18 システム
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
FE0101 オートコントロール異常
オートコントローラで動作継続できない異常が発生しました。(syslog 参照 )
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FE0201 XY コントロール異常
XY コントロールシーケンスで異常が発生しました。(syslog 参照 )
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FE0202 XY コントロール異常
XY コントロールの干渉チェックにより異常が発生しました。(syslog 参照 )
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FE0203 XY コントロール異常
XY コントロールでタイムアウトが発生しました。
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FE0301 制御システム異常
制御システムに異常が発生しました。再起動を実施します。
部品を吸着している場合、基板上や装置内に落下する可能性があります。確認を
お願いします。
FE0302 制御システム異常
制御システムの再起動に失敗しました。シャットダウンしてください。
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T4C15
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3 章 3. 異常 ID と復帰方法
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4 章
認識異常 ID からのトラブルシューティング
この章では、認識異常 I D からのトラブルシューティングについて説明
しています。
1. 認識異常 ID 記載例
2. 認識異常 ID 管理区分
3. 認識異常 ID と復帰方法