NXT-IIc 机械手册.pdf - 第249页

5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S 224 NXT IIc 机械手册 5.10 每 12000 小时的操作 5.10.1 湿气分离器的清扫 1. 请拆除废料带箱 , 拉出模组。 (参考 「4.2 模组的拆除 / 安装 」 ) 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 请转动供应空气用的手柄,停止外 部供应空气。 4. 请拔出空气软管,放松供应空气用 手柄。排出管子内的空气。 5. 松开固定在基座上支架的固定螺栓 ,拆除过滤器调节…

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MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 223
5.9.9 搬运轨道电路板通过传感器的清扫
用干净的绵棒清扫安装在搬运轨道两端的电路板通过传感器的发受光面。清扫时请在拉出
模组的状态下工作。
备注 )当电路板停止位置发生错误时也请同样进行清扫传感器。
1. 请拉出模组。( 参照 「4.1 模组的拉出 / 插入 」」。 )
2. 当搬运轨道内有电路板时请除去
3. 请使用干净的绵棒清扫全部传感器的照射、受光面。
4. 请确认传感器的照射、受光面上没有挂丝。有挂丝的时候请再次进行清扫。
5. 请插入模组。
警告
请不要直接看影像处理光源、电路板搬运确认传感器光源。请使用太阳镜等有色的保
护眼镜。如果光线直接照射到眼睛上的话,有可能使眼睛受伤。
01MEC-1332
01MEC-1322
5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S
224 NXT IIc 机械手册
5.10 12000 小时的操作
5.10.1 湿气分离器的清扫
1. 请拆除废料带箱 , 拉出模组。(参考 「4.2 模组的拆除 / 安装 」
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 请转动供应空气用的手柄,停止外部供应空气。
4. 请拔出空气软管,放松供应空气用手柄。排出管子内的空气。
5. 松开固定在基座上支架的固定螺栓,拆除过滤器调节器和滤芯 Assy。
6. 拧下安装螺栓,拆除滤芯 Assy。
7. 使用压缩空气吹气清扫滤芯,污垢严重时,请更换新的部品。
备注 )在安装滤芯 Assy 时,请将有孔的面向上安装。
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7.84 Nm
5.88 Nm
MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 225
5.10.2 真空泵过滤器的清扫
1. 请拆除模组。(详细参考 「4.2 模组的拆除 / 安装 」
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 从基座上拆除盖板。
4. 请将真空配管内设定为大气压。
5. 2M-2c 基座的时候,请按照以下的步骤拆除过滤器滤芯
a. 松开过滤器外壳下部的螺栓,从本体拆除过滤器外壳。
b. 从本体拆除过滤器滤芯。
6. 4M-2c 基座的时候,请按照以下的步骤拆除过滤器滤芯
警告
更换作业请必须在切断机器主电源后进行。
01MEC-0911Sa
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