NXT-IIc 机械手册.pdf - 第251页
5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S 226 NXT IIc 机械手册 a. 向下压过滤器外壳的锁定扳手，旋 转过滤器外壳后取下。 b. 旋转过滤器外壳，拆除过滤器滤芯 。 7. 用中性洗涤剂清洗过滤器外壳。 8. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢 严重时，请更换新的部品。 01MEC-0910Sa ⳳぎ⋉䖛Ⓒ఼ 䖛Ⓒ఼ Ⓒ㢃 ো˖ +% ᮟ䪂
MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 225
5.10.2 真空泵过滤器的清扫
1. 请拆除模组。（详细参考 「4.2 模组的拆除 / 安装 」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 从基座上拆除盖板。
4. 请将真空配管内设定为大气压。
5. 2M-2c 基座的时候，请按照以下的步骤拆除过滤器滤芯。
a. 松开过滤器外壳下部的螺栓，从本体拆除过滤器外壳。
b. 从本体拆除过滤器滤芯。
6. 4M-2c 基座的时候，请按照以下的步骤拆除过滤器滤芯。
警告
更换作业请必须在切断机器主电源后进行。
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5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S
226 NXT IIc 机械手册
a. 向下压过滤器外壳的锁定扳手，旋转过滤器外壳后取下。
b. 旋转过滤器外壳，拆除过滤器滤芯。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器外壳。
8. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时，请更换新的部品。
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MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 227
5.10.3 H01 工作头的加油
备注 )对于加油量少的加油作业，推荐使用治具的注射筒 （S61439） 。在注射筒上有刻度，
请作为加油量的基准。
1. 请拆除贴装工作头。（详细请参考 「4.3 贴装工作头的拆除 / 安装 」。)
2. 请用清洁的布擦去粘附在 Q 轴齿轮上的旧润滑油和污垢。
3. 取 0.1cc 的 Mobilith SHC460WT 到毛刷上。
4. 请用刷子在 Q 轴齿轮 (1) 部均匀地涂敷润滑油。
5. 用手动旋转 Q 轴齿轮 (1)，不浪费润滑油进行涂敷。
6. 请用清洁的布擦去粘附在 Z 轴滚珠丝杆 （2）上的旧润滑油和污垢。
7. 取 0.117cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。
8. 请用刷子在 Z 轴滚珠丝杆 （2）均匀地涂敷润滑油。。
9. 请用清洁的布擦去粘附在 Z 轴导轨 （3）上的旧润滑油和污垢。
10.取 0.292cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。
11.请用刷子在 Z 轴导轨 （3）的轨道面上均匀地涂敷轮滑油。
12.用手动将 Z 轴上下移动，使润滑油循环。
13.用清洁的布，擦去渗出的多余润滑油。
润滑油 加油处 加油量 （cc）
Mobilith SHC460WT(Mobil) (1) Q 轴齿轮 0.1
Daphne Exponex No.2( 出光 ) (2) Z 轴滚珠丝杆 0.117
(3) Z 轴导轨 0.292