NXT-IIc 机械手册.pdf - 第387页
6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 362 NXT IIc 机械手册 4. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从 基座上拆除真空泵 作业的位置上。 5. 拆除螺栓 （8 根） ，拆除基座后侧的模组间 3、4 间的平板。 6. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从 基座上拆除真空泵 作业的位置上。 01MEC-0960S ぎ⇨⇨㔌 01MEC-0778S ᑇᵓ…
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 361
工具类
6.16.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 取下真空泵上的 2 个模组，使主开关 OFF。
2. 等待真空泵的表面温度下降到室温为止。
3. 请拆除螺丝、盖板。
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 5 mm 内六角扳手 ( 紧固转矩 10 Nm)
6 mm 内六角扳手 ( 紧固转矩 12 Nm)
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用
纸废棉纱头 擦拭清扫用
防尘口罩 -
手套 -
油性笔 -
警告
在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚停止后在泵的
内部很热，有可能造成灼伤。
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6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
362 NXT IIc 机械手册
4. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从基座上拆除真空泵
作业的位置上。
5. 拆除螺栓 （8 根），拆除基座后侧的模组间 3、4 间的平板。
6. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从基座上拆除真空泵
作业的位置上。
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ぎ⇨⇨㔌
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MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 363
7. 拆除真空泵接线箱的盖板，从接线板拆除电源线 （U：红、V：白、W：黑、地线）。
8. 用绝缘胶布等保护固定，以免拆除的配线与机器的其他部位接触。
9. 请从真空泵上拆除连接管。
10.拆除安装真空泵的固定螺栓 （4 根）。请握住手柄，抬起真空泵，从机器基座中取出。
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W
VU
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警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。
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