NXT-IIc 机械手册.pdf - 第398页
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换 NXT IIc 机械手册 373 工具类 工具类名称 备注 六角 T 扳手 对边 5 m m 六角 T 扳手 对边 6 m m 六角 T 扳手 对边 3 m m 转矩扳手 对边 6 mm 转矩扳手 对边 3 mm 十字螺丝刀 N o. 2 转矩螺丝刀 N o. 2 压缩机 吹气用 硅质润滑油 - 密封胶 242 固 定螺丝用 回丝 擦干净和清扫用 防尘口罩 - 手套 - 保护眼镜 - …
6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
372 NXT IIc 机械手册
6.17 4M-2c 基座用泵的损耗品 <DOP-420SA>
请将吸气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。
4M-2c 基座根据销售时期真空泵的型号不同。请确认真空泵表面 ( 下记插图圈印 ) 贴的标
牌的型号，记载为 「DOP-420SA」时，按照以下方法进行作业。
6.17.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.17.2 准备物品
维修套件 （图号：H5448E）
ⳳぎ⋉
01MEC-0956S
No. 部件名称 数量
1盖垫 4
2阀 8
3 S-100 O 型圈 4
4 AS568-117 O 型圈 2
5 密封圈 2
6 过滤器 4
7防尘口罩 2
01MEC-0346a
1
2
7
4
5
3
6
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 373
工具类
工具类名称 备注
六角 T 扳手 对边 5 mm
六角 T 扳手 对边 6 mm
六角 T 扳手 对边 3 mm
转矩扳手 对边 6 mm
转矩扳手 对边 3 mm
十字螺丝刀 No. 2
转矩螺丝刀 No. 2
压缩机 吹气用
硅质润滑油 -
密封胶 242 固定螺丝用
回丝 擦干净和清扫用
防尘口罩 -
手套 -
保护眼镜 -
01MEC-0347a
6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
374 NXT IIc 机械手册
6.17.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态，使主开关 OFF。
2. 等待真空泵的表面温度下降到室温为止。
3. 请拆除螺丝、盖板。
4. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从基座上拆除真空泵
作业的位置上。
警告
在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚停止后在泵的
内部很热，有可能造成灼伤。
01MEC-0942a
01MEC-0960S
ぎ⇨⇨㔌