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6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 374 NXT IIc 机械手册 6.17.3 更换方法 真空泵的拆除 1. 将在基座上右端的模组处于 半拉出状态,使主开关 OFF。 2. 等待真空泵的表面温度下降到室温 为止。 3. 请拆除螺丝、盖板。 4. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从 基座上拆除真空泵 作业的位置上。 警告 在进行拆除真空泵操作前,请 务必切断机器主电源。 警告 请在泵停…

MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 373
工具类
工具类名称 备注
六角 T 扳手 对边 5 mm
六角 T 扳手 对边 6 mm
六角 T 扳手 对边 3 mm
转矩扳手 对边 6 mm
转矩扳手 对边 3 mm
十字螺丝刀 No. 2
转矩螺丝刀 No. 2
压缩机 吹气用
硅质润滑油 -
密封胶 242 固定螺丝用
回丝 擦干净和清扫用
防尘口罩 -
手套 -
保护眼镜 -
01MEC-0347a

6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
374 NXT IIc 机械手册
6.17.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态,使主开关 OFF。
2. 等待真空泵的表面温度下降到室温为止。
3. 请拆除螺丝、盖板。
4. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从基座上拆除真空泵
作业的位置上。
警告
在进行拆除真空泵操作前,请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上,确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚停止后在泵的
内部很热,有可能造成灼伤。
01MEC-0942a
01MEC-0960S
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MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 375
5. 拆除螺栓 (8 根),拆除基座后侧的模组间 3、4 间的平板。
6. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从基座上拆除真空泵
作业的位置上。
7. 拆除真空泵接线箱的盖板,从接线板拆除电源线 (U:红、V:白、W:黑、地线)。
8. 用绝缘胶布等保护固定,以免拆除的配线与机器的其他部位接触。
9. 请从真空泵上拆除连接管。
01MEC-0778S
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01MEC-0961S
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30MEC-0154