NXT-IIc 机械手册.pdf - 第409页
6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 384 NXT IIc 机械手册 5. 安装定位治具到左右 2 个的电缆托架承座的后侧 。将治具抵住电缆托架承座后用螺栓固 定。 6. 请拆除电缆托架承座的后侧的螺栓 （2 个） 。 7. 请拆除左右 2 个的电缆托架承座筋板。松开螺栓 （2 根） ，抬起电缆托架承座后拆除。 备注 )没有必要拆除螺栓。 01MEC-09 5 7S ⬉㓚ᠬᶊᡓᑻ ᅮԡ⊏ 01MEC-09 5 9S ⬉…
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 383
6.18.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态，使主开关 OFF。
2. 请拆除螺丝、盖板。
3. 拆除螺栓 （10 根），拆除基座后侧的的平板。
4. 请准备附属品的电缆托架承座的定位治具 （2 个）。
警告
在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
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6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
384 NXT IIc 机械手册
5. 安装定位治具到左右 2 个的电缆托架承座的后侧。将治具抵住电缆托架承座后用螺栓固
定。
6. 请拆除电缆托架承座的后侧的螺栓 （2 个）。
7. 请拆除左右 2 个的电缆托架承座筋板。松开螺栓 （2 根），抬起电缆托架承座后拆除。
备注 )没有必要拆除螺栓。
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MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 385
8. 请拆除螺栓 （7 个）、基座前侧的平板。
9. 请拆除真空泵温度保险丝支架的固定螺栓 （2 根）。支架请放在不妨碍从基座上拆除真
空泵作业的位置上。
10.请拆除螺栓 （2 个）, 使集流箱的位置处于可以移动的状态。
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