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6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 386 NXT IIc 机械手册 11.拆除真空泵接线箱的盖板，从接 线板拆除电源线 （U：红、V ：白、W：黑、地线） 。 12.用绝缘胶布等保护固定，以免拆 除的配线与机器的其他部位接触。 13.电缆托架承座和电缆托架支架请 放在不妨碍从基座上拆除真空泵作业的位置上，将电缆 托架拉到基座的前方。 14.请从真空泵上拆除 连接管。 15.拆除安装真空泵的固定螺栓 （4 根） 。 请握…
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 385
8. 请拆除螺栓 （7 个）、基座前侧的平板。
9. 请拆除真空泵温度保险丝支架的固定螺栓 （2 根）。支架请放在不妨碍从基座上拆除真
空泵作业的位置上。
10.请拆除螺栓 （2 个）, 使集流箱的位置处于可以移动的状态。
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6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
386 NXT IIc 机械手册
11.拆除真空泵接线箱的盖板，从接线板拆除电源线 （U：红、V：白、W：黑、地线）。
12.用绝缘胶布等保护固定，以免拆除的配线与机器的其他部位接触。
13.电缆托架承座和电缆托架支架请放在不妨碍从基座上拆除真空泵作业的位置上，将电缆
托架拉到基座的前方。
14.请从真空泵上拆除连接管。
15.拆除安装真空泵的固定螺栓 （4 根）。请握住手柄，抬起真空泵，从机器基座中取出。
89:
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后进行操作。运转停止后，泵的内部处于
高温，有可能被灼伤。
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真空泵的分解
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 （M6×L16）拧松，拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 （M6×L30）拧松，拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压，拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时，请将左右的
装配接头一点点交替地拔出。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后会与空气一起
进入体内。