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6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 388 NXT IIc 机械手册 4. 拆下汽缸。 a. 在拆下汽缸前，用油性笔在外壳和 汽缸上做标记。 b. 用戴有手套的手，满满地将风扇向 上旋转。此时，请必须戴手套。 c. 将汽缸向上拔起。 5. 拆下压板和盖垫。 a. 对准外壳的标记部，用油性笔在压 板上做标记。
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 387
真空泵的分解
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 （M6×L16）拧松，拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 （M6×L30）拧松，拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压，拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时，请将左右的
装配接头一点点交替地拔出。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后会与空气一起
进入体内。
6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
388 NXT IIc 机械手册
4. 拆下汽缸。
a. 在拆下汽缸前，用油性笔在外壳和汽缸上做标记。
b. 用戴有手套的手，满满地将风扇向上旋转。此时，请必须戴手套。
c. 将汽缸向上拔起。
5. 拆下压板和盖垫。
a. 对准外壳的标记部，用油性笔在压板上做标记。
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 389
b. 松开压板的 4 根平头螺丝 （M5×L12）。此时，请戴好手套，抓住松开处的连杆。
c. 拆下压板。
d. 从压板上取下吸气阀干扰橡胶。
e. 拆下盖垫。
f. 用含有工业用酒精的回丝擦拭压板油脂，进行清扫。
6. 从汽缸中取出其他零件。
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