NXT-IIc 机械手册.pdf - 第487页
7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 462 NXT IIc 机械手册 3. 请拆除螺栓 （10 根） ，取下基座后侧的模组 3，4 之间的平板。 4. 请准备附属品的电缆托架承座的定 位治具 （2 个） 。 5. 请安装定位治具到最右侧的电缆托 架承座的前后 2 处。此时，将治具抵住电 缆托架承座 后用螺栓固定。 6. 请拆除螺栓 （3 个）后拆除电缆托架承座。 01MEC-0949S ᑇᵓ 01MEC-0943 01M …
MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换
NXT IIc 机械手册 461
9. 请拆除螺丝 (2 个 )，取下真空泵控制箱。
10.请以与拆除相反的步骤安装新的真空控制箱到基座上。
11.请按压电缆托架承座抵住定位治具，用螺栓固定。
12.请拆除定位治具，安装平板和盖板。
7.14.3 2M-2c 基座的更换方法
1. 请拆除基座上所有的模组，将主电源开关 OFF。
2. 拆下螺丝，取下盖板。
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7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
462 NXT IIc 机械手册
3. 请拆除螺栓 （10 根），取下基座后侧的模组 3，4 之间的平板。
4. 请准备附属品的电缆托架承座的定位治具 （2 个）。
5. 请安装定位治具到最右侧的电缆托架承座的前后 2 处。此时，将治具抵住电缆托架承座
后用螺栓固定。
6. 请拆除螺栓 （3 个）后拆除电缆托架承座。
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MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换
NXT IIc 机械手册 463
7. 请拆除螺栓 （7 个），基座前侧的平板。
8. 请拆除连接在真空泵控制箱的支架的接插件 (MSICN1，MSICN2，MSICN3)。
9. 请拆除 1 根螺栓，另外 1 根螺栓处于松动的状态下，拆除真空泵控制箱。
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