NXT-IIc 机械手册.pdf - 第79页
3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S 54 NXT IIc 机械手册 3.4 XY 机械手传感器 No. 地址 信 号名 1 RX00B Y 轴线性马达温度正常 2 RX00D 确认工作头连接 0(&6D 0F㒘 0F㒘
MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图
NXT IIc 机械手册 53
3.3 主体模组部传感器
N0. 地址 信号名
1 RX000 确认元件真空压力
2 RX002 确认空气压力
3 X01A 模组冷却风扇正常
4 RX017 确认元件废弃箱落座
5 RX018 供料器浮起检测
6 RX01C 确认安装 Y 轴中间停止块
7 X006 确认后退侧料站盖罩位置
01MEC-0691S
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0F㒘
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3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S
54 NXT IIc 机械手册
3.4 XY 机械手传感器
No. 地址 信号名
1 RX00B Y 轴线性马达温度正常
2 RX00D 确认工作头连接
0(&6D
0F㒘
0F㒘
MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图
NXT IIc 机械手册 55
3.5 贴装工作头传感器
3.5.1 H01 工作头
*: 装载自动支撑销功能 （选项）的时候
No. 地址 信号名
1 X100 加压确认传感器
2* X103 确认销松开
3* X104 确认销夹紧上升端
4 X110 确认吸取吸嘴
5 X111 确认真空破坏
6* Y112 确认销夹紧下降端
7 Y100 吸取元件 ON
8 Y101 真空破坏
9 Y102 吸取吸嘴 ON
10 Y103 吸嘴清洁
11* Y108 夹紧下降指示
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8
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10
NXTSEN003d
5
6
3
2
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