NXT-IIc 机械手册.pdf - 第94页

MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图 NXT IIc 机械手册 69 3.10 混合校正单元传感器 备注 )插图是双搬运轨道。单搬运轨道传感器的时候也同样配 置传感器。 No. 地址 信号名 1 RX00C 确认混合校正吸取 2 RY006 混合校正吸取真空 ON 3 RY007 混合校正吸取真空 OFF 2 1 3 01MEC-0829 Sa <M6-2c  ঠᨀ䖤䔼䘧 > 2 1 3 <M3-2c …

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3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S
68 NXT IIc 机械手册
3.9.2 M6-2c 模组
备注 )插图是双搬运轨道。单搬运轨道传感器的时候,配置图中号码 1 3,8,9,12 传感器。
No. 地址 信号名
1 CX000 确认通道 1 搬运轨道电路板通过 L
2 CX001 确认通道 1 搬运轨道电路板通过 R
3 CX005 通道 1 搬运轨道真空支撑销检测
4 CX008 确认通道 2 搬运轨道电路板通过 L
5 CX009 确认通道 2 搬运轨道电路板通过 R
6 CX00D 通道 2 搬运轨道真空支撑销检测
7 CX00F 通道 2 基准搬运轨道支撑销检测
8 - 确认通道 1 搬运轨道电路板通过 L 放大器
9 - 确认通道 1 搬运轨道电路板通过 R 放大器
10 - 确认通道 2 搬运轨道电路板通过 L 放大器
11 - 确认通道 2 搬运轨道电路板通过 R 放大器
2
5
2
5
1
1
4
4
3
3
6
6
7
7
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9
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11
01MEC-0994
MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图
NXT IIc 机械手册 69
3.10 混合校正单元传感器
备注 )插图是双搬运轨道。单搬运轨道传感器的时候也同样配置传感器。
No. 地址 信号名
1 RX00C 确认混合校正吸取
2 RY006 混合校正吸取真空 ON
3 RY007 混合校正吸取真空 OFF
2
1
3
01MEC-0829Sa
<M6-2cঠᨀ䖤䔼䘧>
2
1
3
<M3-2cঠᨀ䖤䔼䘧>
3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S
70 NXT IIc 机械手册
3.11 检测电路板高度传感器
No. 地址 信号名
1 RY00C 电路板高度传感器 _ 零位移
2 RY00D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
01MEC-1241S
2
1
2
1
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