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3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S 74 NXT IIc 机械手册 3.12.4 元件搬运轨道 No. 地址 信号名 1 IN02 JOG 模式 2 IN04 确认不良元件排出许可 (侧面) 3 IN03 确认不良元件排出许可 (中央) 4 IN05 不良元件 C/V 送料记数 01MEC-0225 1 2 3 4 T ray unit-L T

MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图
NXT IIc 机械手册 73
3.12.3 往复臂
No. 地址 信号名
1 OUT20 往复臂开关夹紧
2 IN10 往复臂后退端
3 IN12 确认往复臂松开
4 IN11 确认往复臂夹紧
5 IN2E 确认元件废弃箱落座
6 IN13 往复臂料盘高度监视 (下)
7 IN14 往复臂料盘高度监视 (中)
8 IN15 往复臂料盘高度监视 (上)
01MEC-0224b
1
2
6
7
8
3
4
5

3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S
74 NXT IIc 机械手册
3.12.4 元件搬运轨道
No. 地址 信号名
1 IN02 JOG 模式
2 IN04 确认不良元件排出许可 (侧面)
3 IN03 确认不良元件排出许可 (中央)
4 IN05 不良元件 C/V 送料记数
01MEC-0225
1
2
3
4
Tray unit-LT

MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图
NXT IIc 机械手册 75
3.13 料盘单元 -LTC 传感器
3.13.1 安全门
No. 地址 信号名
1 IN00 紧急停止 SW
2 IN06 确认上部料盘箱安全门关闭
3 IN07 确认下部料盘箱安全门关闭
No. 机器本体侧地址 信号名
4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入
5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入
01MEC-1206
2
1
3
4
5