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Test Research, Inc. 204 TR7700 SIII Series User G uide – Soft ware 6.6.5 精度補償狀態 此頁籤提供 XY 平台的補償功能診斷。 使用此功能需搭配 150m m *150mm 的玻璃板 先行校正。 圖 314 ：精度補償 狀態頁籤 流程診斷區：此功能透過 檢驗 150 mm x150 mm 玻璃板四個 角落圓點的相 對距離，來確認 軟體的平台精度補償功 能是否正常…
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TR7700 SIII Series User Guide – Software 203
圖 313：輔助功能區
• 鏡頭移動控制器：點選指定的方向後會依照設定的數值進行步進動作。
• 相機控制區：開啟鏡頭相關功能。
– 擷取影像：觸發 trigger 並在影像顯示區顯示目前鏡頭所在位置的影像。
– 十字線：在擷取的影像中顯示綠色十字線以標示出中心位置。
• 輔助功能區：此區域的左邊四個功能為記錄灰卡使用，而右邊兩個功能是用來讀取
設定。當 system.ini 檔案中沒有燈光診斷使用的灰卡位置紀錄時，需要先執行記錄
灰卡的動作。
備註：當啟動燈光診斷時，[移至軌道標準位置]按鈕有出現時表示沒有燈光診斷使用
後的灰卡位置紀錄。此時，需要執行記錄灰卡的動作。
記錄灰卡流程如下：
1. 按下[移至軌道標準位置]。
2. 等待軌道移動完畢後，利用鏡頭移動控制區將鏡頭移至灰卡中央。
3. 按下[記錄灰卡位置]。
4. 按下[回復軌道先前位置]，將軌道回復到記錄灰卡動作前的位置。
當設定完成後，以後要使用燈光診斷時僅需按下[移至灰卡]，即可將鏡頭移至灰卡位
置。
影像顯示區：顯示目前鏡頭所在位置的影像。操作方式可參閱 6.6.3 的影像顯示區說明。
狀態顯示區：將目前診斷項目的偵測結果顯示在此區域。資料會依照預設路徑儲存，完成
後會清空顯示區。
鏡頭移動控制區
相機控制區
輔助功能區
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204 TR7700 SIII Series User Guide – Software
6.6.5 精度補償狀態
此頁籤提供 XY 平台的補償功能診斷。使用此功能需搭配 150mm*150mm 的玻璃板先行校正。
圖 314：精度補償狀態頁籤
流程診斷區：此功能透過檢驗 150mmx150mm 玻璃板四個角落圓點的相對距離，來確認
軟體的平台精度補償功能是否正常。首先，使用者必須取得玻璃板四個角落的原始座標，
並透過平台補償功能來得到修正後的四組座標。最後，再計算這四組座標彼此間的距離是
否誤差小於 0.2μm，小於的話狀態會顯示為通過。
影像顯示區：顯示目前鏡頭所在位置的影像。操作方式可參閱 6.6.3 的影像顯示區說明。
前置設定：將鏡頭移動到玻璃板上相對應的位置後，使用[設定座標]來完成該對位標記的
設定。當四個方位都已經完成後，系統會根據剛剛設定的位置搜尋確切的圓點圓心座標，
以作為後續檢測的參考。
鏡頭移動控制區：點選指定的方向後會依照設定的數值進行步進動作。
流程診斷區
前置設定與鏡頭移動控制區
影像顯示區
