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机器控制参数 2-8 2-1-4 L- Head θ 轴 PTP 动 作以外 如将“动作区分”设置 为欲编辑的索引, 即可对所设定的区分中的 速度控制参数进行 编辑。 2-1-4-1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 脉冲分解能 1nm / Pu lse 2 速度界限 加速度 -10 10 G 3 减速度 -10 10 G 4 最高速 度 -1000000 1000000 mm/s ec 5 反冲击 率 …

机器控制参数
2-7
2-1-3-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 脉冲分解能 1nm/Pulse
2 速度界限 加速度 -10 10 G
3 减速度 -10 10 G
4 最高速度 -1000000 1000000 mm/sec
5 反冲击率 -100000 100000 %
6 各动作区的
速度控制表
动作区分 0 7 参照 2-1-3-2 动作区分
速度区分 0 9 参照 2-1-3-3 速度区分
7 速度控制参数 速度比(%) -100000 100000 %
8 加速度比(%) -100000 100000 %
9 减速度比(%) -100000 100000 %
10
LNC-120 保
持角度偏移量
速度区分
0 9 %
参照 2-1-3-3 速度区分
2-1-3-2 动作区分
2-1-3-3 速度区分
No.
类别
内容
1 0 激光计测时
2 1 激光计测外
3 2 图像定心时
4 3 无元件运转时
5 4 生产动作以外
6 5~7 预备
No.
类别
内容
1 0 高速
2 1 中速
3 2 低速
4 3 低速2
5 4~9 预备

机器控制参数
2-8
2-1-4 L-Head θ 轴 PTP 动作以外
如将“动作区分”设置为欲编辑的索引,即可对所设定的区分中的速度控制参数进行编辑。
2-1-4-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 脉冲分解能 1nm/Pulse
2 速度界限 加速度 -10 10 G
3 减速度 -10 10 G
4 最高速度 -1000000 1000000 mm/sec
5 反冲击率 -100000 100000 %
6 各动作区的
速度控制表
动作区分 0 9 参照 2-1-4-2 动作区分
7 速度控制参数 速度比(%) -100000 100000 %
8 加速度比(%
)
-100000 100000 %
9 减速度比(%
)
-100000 100000 %
2-1-4-2 动作区分
No.
类别
内容
1 0 JOG基础属性
2 1 单步
3 2 返回原点
4 3~9 预备

机器控制参数
2-9
2-1-5 真空(真空校准)
2-1-5-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 吸取真空压下限值(-500mmHg相当)
2 吸取真空压界限值(-50mmHg相当)
3 到达真空试验时间 默认:300ms
4 自然破坏实验时间 默认:200ms
5 加压破坏实验时间 默认:200ms
6 吹气调整时间
7 吹气开始计时
8 真空破坏延迟时间