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机器控制参数 2- 72 2-4- 10 设 置 OC C 坏板标记 2-4- 10 -1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 对比度图案 0 19 2 最大值 3 最小值
机器控制参数
2-71
2-4-9 MNVC FCS 控制参数
2-4-9-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 数据有效／无效 0 1 0：无效
1：有效（默认）
※
2 标记形状 0：
3 极性
0：正转
1：反转
4 标记尺寸 0.1μm 默认：40000
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-72
2-4-10 设置 OCC 坏板标记
2-4-10-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 对比度图案 0 19
2 最大值
3 最小值
机器控制参数
2-73
2-4-11 数字放大
2-4-11-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 对象 0 1 0：L-OCC
2 数据有效／无效 0 1 0：无效
1：有效（默认）
※
3 控制表 表号 0 3
4 倍率 0 3 0：限定
1：等倍
2：2倍
3：4倍
5 应用最大长边尺寸
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。