JM-20_MC机器控制参数.pdf - 第87页
机器控制参数 2- 78 2-4- 16 DFFP VCS 设置 2-4- 16 -1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 标记直径 2 标记长度 3 工具厚度 4 Z 計測開始位置 5 测量歩骤数 6 测量歩骤 的间距
机器控制参数
2-77
2-4-15 识别检查等待时间
2-4-15-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 Z轴移动到VCS识别高度
后，到拍摄为止的时间
标准VCS Z
2 XY
3 选项VCS Z
4 XY
5 移到标记识别位置后摄
像为止的时间
BOC
6 IC
7 台架
8 预备
9 移到BAD标记位置移动后检测标记为止的时间
10 XY轴移动开始后、SWEEP开始为止的时间
11 XY轴移动开始后、ONCE开始为止的时间
12 查出芯片站立重试延迟时间
13 MTC元件检索超时时间（s） s
14 实施真空预热的暂停时间 s
15 VCS照明转换等待时间 预约
16 HMS移动后的稳定等待时间
17 移到VCS识别位置后、摄
像为止的时间
VCS选择
0 1
0：准VCS
1：选配VCS
18 移到VCS 识别位置
后、摄像为止的时间
机器控制参数
2-78
2-4-16 DFFP VCS 设置
2-4-16-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 标记直径
2 标记长度
3 工具厚度
4
Z
計測開始位置
5
测量歩骤数
6
测量歩骤的间距
机器控制参数
2-79
2-4-17 取得 DFFP VCS 参数自动取得