JM-20_MC机器控制参数.pdf - 第98页
机器控制参数 2- 89 2-5-9 原压控制阈值 2-5-9-1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 真空泵 OFF 阈值 未使用 2 真空泵 ON 阈值 未使用 3 下限值 4 空气压补正系数（ 负压 ） - 0.5k Pa 5 下限值 % 6 空气压补正系数（正压） 5kPa 7 空气压补正系数 （校准台） %
机器控制参数
2-88
2-5-8 轴向供料器设置
2-5-8-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
轴向供料器时间
设置
夹持等待时
间（每个Z轴
）
Z轴速度
0
9
0：速度1（低速2）
2：速度3（低速）
5：速度6（中速）
7：速度8（高速）
9：速度10（高速2）
其他：预备
2
夹持等待时间
每隔Z轴速度设定
3
吹气时间
4
夹持解除等待时间
5
轴向供料器动作
设置
轴向供料器类型
0
5
0：MAF-S 1：
MAF-L
其他：预备
6
Z轴吸取下降位置扱限
每隔轴向供料器类型
设定
机器控制参数
2-89
2-5-9 原压控制阈值
2-5-9-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 真空泵OFF阈值 未使用
2 真空泵ON阈值 未使用
3 下限值
4 空气压补正系数（负压）
-0.5kPa
5 下限值
%
6 空气压补正系数（正压）
5kPa
7 空气压补正系数（校准台）
%
机器控制参数
2-90
2-5-10 HMS 设置
2-5-10-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 HMS读取时间 ms
2 HMS AD变换时间 ms
3 HMS ON等待时间 ms
4 HMS高度测量限制（最小值） 0.1µm
5 HMS高度测量限制（最大值） 0.1µm
6 HMS切换高度 0.1µm
7 平均取得次数 次
8 测量周期 ms