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机器控制参数 2- 90 2-5- 10 HMS 设置 2-5- 10 -1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 HMS 读取时间 ms 2 H MS AD 变换时间 ms 3 HMS ON 等待时间 ms 4 HMS 高度测 量限制 （ 最小 值） 0.1 µ m 5 HMS 高度测 量限制 （最大 值） 0.1 µ m 6 HMS 切换高度 0.1 µ m 7 平均取得次数 次 8 测 量 周期 ms
机器控制参数
2-89
2-5-9 原压控制阈值
2-5-9-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 真空泵OFF阈值 未使用
2 真空泵ON阈值 未使用
3 下限值
4 空气压补正系数（负压）
-0.5kPa
5 下限值
%
6 空气压补正系数（正压）
5kPa
7 空气压补正系数（校准台）
%
机器控制参数
2-90
2-5-10 HMS 设置
2-5-10-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 HMS读取时间 ms
2 HMS AD变换时间 ms
3 HMS ON等待时间 ms
4 HMS高度测量限制（最小值） 0.1µm
5 HMS高度测量限制（最大值） 0.1µm
6 HMS切换高度 0.1µm
7 平均取得次数 次
8 测量周期 ms
机器控制参数
2-91
2-5-11 引脚矫正设定
2-5-11-1 设置项目
No.
项目
输入范围
单位 备注
最小值 最大值
1 槽口编号 1 8 使用 1～6
2 矫正可能范围的上限值 0.1μm 读入夹具 INI 文件的值
3 矫正可能范围的下限值 0.1μm 读入夹具 INI 文件的值
4 重试加算压入量 0.1μm 读入夹具 INI 文件的值
5 重试减算压入量 0.1μm 读入夹具 INI 文件的值
6 压入量调整时的允许值 0.1μm 读入夹具 INI 文件的值
7 压入量调整时的重试次数 次 读入夹具 INI 文件的值
8 压入量再调整计数 次 读入夹具 INI 文件的值
9 压入量再调整判定 次 读入夹具 INI 文件的值