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第 1 章 设备概要 1-3-1-2 设备内部（基板生产及周围部分） ④ ③ ① ② ⑥ ⑩ ⑭ ⑤ ⑧ ⑬ ⑮ ⑪ ⑫ ⑦ ⑨ ① ATC 装置 ⑥ X-Y 轴装置 ⑪ 元件检测器(选项 ) ② MNLA 贴片头装置 ⑦ 基板传送装置 ⑫ CVS(选项) ③ OCC(R) 装置 ⑧ CAL 块 ⑬ 线性尺 ④ OCC(L) 装置 ⑨ 送 料器台装置 ⑭ 负荷控制系统 ( 测力器 ) ⑤ VCS 装置 ⑩ HMS 装置 ⑮ FMLA 贴…
第 1 章 设备概要
1-3 设备概要
1-3-1 本设备的构成
1-3-1-1 正面图及右侧图
1
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6
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8
⑩
① 图像监视器 ④ 操作面板 ⑦ 主开关
② 液晶显示器 ⑤ 键盘，跟踪球 ⑧ 过滤器调节器
③ HOD ⑥ 信号灯 ⑨ 气压表/3.5FDD
⑩ 安全盖
（*注）
图 1-1 CX-1 外观图
◆打开安全盖时要把盖子向上开足直到上了锁，
确认上了锁之后再放开手。
（把盖子开到最大限度就会进入上锁状态。）
﹡
没有上好锁就放开手时，
盖子有落下来的危险。
◆关盖子时先解开锁，再关闭盖子。
把盖子向上提，在全开状态下，
把手把向上移动解开锁。
（请注意，解开锁时不要使盖子落下来受伤。）
﹡不要过渡增加盖子、手把等的负荷。
确认手把已推到里
面并且稳定。
〈安全盖打开状态侧面图〉
<*注：安全盖打开时的注意事项>
再关闭盖子。
把手把向上提，解开锁后，
把手
1-3
第 1 章 设备概要
1-3-1-2 设备内部（基板生产及周围部分）
④
③
①
②
⑥
⑩
⑭
⑤
⑧
⑬
⑮
⑪
⑫
⑦
⑨
① ATC 装置 ⑥ X-Y 轴装置 ⑪ 元件检测器(选项)
② MNLA 贴片头装置 ⑦ 基板传送装置 ⑫ CVS(选项)
③ OCC(R) 装置 ⑧ CAL 块 ⑬ 线性尺
④ OCC(L) 装置 ⑨ 送料器台装置 ⑭ 负荷控制系统(测力器)
⑤ VCS 装置 ⑩ HMS 装置 ⑮ FMLA 贴片头单元（选购项）
图 1-2 CX-1 设备内部
1-4
第 1 章 设备概要
1-3-1-3 贴片头单元的构成
贴片头由检测元件的位置偏移、角度偏移的激光校准传感器以及可进行上下驱动与旋转的Z
滑动轴构成。CX-1配备了如下图所示的MNLA贴片头。
①
②
④
③
⑤
②
③
⑦
⑥
⑤
①
<L 贴片头单元图（MNLA 贴片头，标准装备）>
<R 贴片头单元图（FMLA 贴片头，选购项）>
① 吸嘴外轴杆 ④ Ｚ滑动轴 ⑦ 贴片头上弹簧
② 激光校准传感器 ⑤ θ轴马达
③ Ｚ轴马达 ⑥ 滚珠螺杆
图 1-3 贴片头单元图
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