CX-1_OPE.pdf - 第390页
第 5 章 其它功能 5-81 5-6-2-5 VCS2 值化阈值 图 5-53 VCS2 …

第 5 章 其它功能
5-80
5-6-2-4 VCS 偏差
CAL
图5-52 VCS偏差
警告
单击“运行”后,轴会移动。单击“运行”前,请务必确认装置内部无人作
业。此外,为了避免人身伤害,在运行过程中,切勿将手放入装置内部,
也不要将脸和头靠近装置。
()
()

第 5 章 其它功能
5-81
5-6-2-5 VCS2 值化阈值
图 5-53 VCS2 值化阈值
警告
单击“运行”后,轴会移动。单击“运行”前请务必确认装置内部无人作
业。此外,为了避免人身伤害,在运行过程中,切勿将手放入装置内部,
也不要将脸和头靠近装置。

第 5 章 其它功能
5-82
5-6-2-6 真空校准
图 5-54 真空校准
警告
单击“运行”后,轴会移动。单击“运行”前,请务必确认装置内部无人作
业。此外,为了避免人身伤害,在运行过程中,切勿将手放入装置内部,
也不要将脸和头靠近装置。