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第 5 章 其它功能 5-82 5-6-2-6 真空校准 图 5-54 真空校准 警告 单击“运行”后…
第 5 章 其它功能
5-81
5-6-2-5 VCS2 值化阈值
图 5-53 VCS2 值化阈值
警告
单击“运行”后，轴会移动。单击“运行”前请务必确认装置内部无人作
业。此外，为了避免人身伤害，在运行过程中，切勿将手放入装置内部，
也不要将脸和头靠近装置。
第 5 章 其它功能
5-82
5-6-2-6 真空校准
图 5-54 真空校准
警告
单击“运行”后，轴会移动。单击“运行”前,请务必确认装置内部无人作
业。此外，为了避免人身伤害，在运行过程中，切勿将手放入装置内部，
也不要将脸和头靠近装置。
第 5 章 其它功能
5-83
5-7 其它
5-7-1 记录工具（Log Tool）
(
注意
发生故障时，应及时启用记录工具，取得记录。如不及时取出纪录，
其他动作继续执行 2～3 分以后，故障纪录可能消失。
5-7-1-1 记录工具
「C:\Juki\Tools」 “Log.bat”
bat
C:\Juki\Tools\LogData log.loglog.txt
“log.log” JUKI