M6e_ServiceManual_j.pdf - 第16页
1 ．据付 1- 8 ⑥ ベース部での水平出しの後、前工程の搬送コンベアとマウンタの搬送コンベアの位 置の高さが確保されているか確認します。 ⑦ （X ビームのネジレをなくすため）X ビーム上に水準器を置き、X ビームが前側の時と 奥側に移動した時との水準器の読みの差が 1 目盛り以下になるよう微調整します。 前 側 か ら 見 た と き 奥 側 か ら 見 た と き ⑧ アジャストフットのナットをロックします。 【NOTE】 アジ…
1．据付
1-
7
【手順】
① マウンタを、所定の場所に移動します。
② ヘッドを X ビームに固定しているボルト、S 軸（スキャンカメラ）を固定している金具、
X-Y を固定しているインシュロックタイすべてを取り外し、手動でヘッドと S 軸が X 方
向に、X ビームが Y 方向にそれぞれ動くことを確認します。
③ 単体置きの場合は、基板の搬送高さが基準設備のコンベア高さ（900±20mm）（注）
になるように、アジャストフットを回転させて調整します。SMEMA 規格対応の場合は、
950±20mm にします。
④ 前工程とライン連結する場合は、前工程のコンベアレール高さに合わせます。
)
生産ライン出し
900±20mm
または、
950±20mm(SMEMA 規格)
注：CFB ワゴン仕様の場合、900 mm となります。
【NOTE】 アジャストフットを回転させる際は、呼び寸法 46mm の片口スパナ（M30 ナット用）を
使用します。
⑤ 水準器をベース部に置き、測定しながら前後･左右の水平が出るまで、微調整を行な
いながら、前工程コンベアレールとの位置を合わせます。
)
据付補足説明
＋20
－10
1．据付
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8
⑥ ベース部での水平出しの後、前工程の搬送コンベアとマウンタの搬送コンベアの位
置の高さが確保されているか確認します。
⑦ （X ビームのネジレをなくすため）X ビーム上に水準器を置き、X ビームが前側の時と
奥側に移動した時との水準器の読みの差が 1 目盛り以下になるよう微調整します。
前側から見たとき 奥側から見たとき
⑧ アジャストフットのナットをロックします。
【NOTE】 アジャストフットのナットをロックする際は、呼び寸法 46mm のメガネレンチ、または片
口スパナを使用します。
⑨ 電源コード、アースを接続します。マウンタにノイズの影響を及ぼす恐れのある機器
とは、必ず別系統で接続してください。
⑩ マウンタ本体内部にあるフィルタレギュレータのエアーカプラに、供給側エアーカプ
ラ 65SN または、85SN（日東工器）相当品を下図の要領で接続します。配管後、フィ
ルタレギュレータの指示圧力が 0.50MPa（5 ㎏ｆ/c ㎡） を示していることを確認してく
ださい。
1．据付
1-
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供給側エアーカプラ
65SN/85SN(日東工器)相当品
エアーレギュレータ
エアーカプラ