M6e_ServiceManual_j.pdf - 第78页
5 ．資料 5-4 消耗品リスト ヘッドマニホールド部 部品名 部品番号 員数 備考 FILTER ELEMENT LG0-M71A9-00X 6 フィルタエレメント AIR FILTER ASSY. LG0-M71A4-00X 6 エアーフィルタ Assy. SILENCER ELEMENT LG0-M71A8-00X 6 サイレンサエレメント GENERATOR,VACUUM LG0-M71A3-00X 6 バキュームジェネレータ …
5．資料
5-3
固定式基準ピン φ3mm 用
φ3.5 mm 用
φ4.0 mm 用
1 セット 丸＆ダイヤ
基板押上ピン(マグネットタイプ) LG0-M9820-00X 9
前工程用 LG0-M56K0-10X 1 信号線
(標準)
*1)
後工程用 LG0-M56K0-20X 1
信号線(SMEMA) *1) LG0-M56K0-00X
4 m
六角レンチセット LG0-M89A3-00X 1
マイナスドライバー(小) LG0-M89A2-00X 1
バキュームゲージセット LG0-M89A5-00X 1
コンベアハンドル LG0-M90B9-00X 1
レンズクリーニングセット LG0-M89A4-00X 1
シリコーングリス LG0-M89AB-00X 1
LCD ディスプレイ KGT-M5106-01X 1
ミニキーボード
*2)
KW3-M5150-50X 1
マウス
*3)
KW3-M5169-04X 1
セパレータ Assy. LG0-M340C-00X
FDD(USB 接続)
セットマスタ LG0-M5C00-00X
可変基準ピン φ3.0 mm 用
φ3.5 mm 用
φ4.0 mm 用
丸＆ダイヤ
ノズルクリーニングワイヤ KV8-M8887-00X 1
ノズルクリーニングキット LG0-M5J00-00X
エアカプラ LG0-M89A1-00X
【NOTE】
*
1) 4m 信号線、標準仕様又は、SMEMA 仕様を選択
*
2) IBM AT、PS/2 互換
*
3) PS/2 シリアルマウスインターフェース コネクタ(ミニ DIN 6pin オス)
5．資料
5-4
消耗品リスト
ヘッドマニホールド部
部品名 部品番号 員数 備考
FILTER ELEMENT LG0-M71A9-00X 6 フィルタエレメント
AIR FILTER ASSY. LG0-M71A4-00X 6 エアーフィルタ Assy.
SILENCER ELEMENT LG0-M71A8-00X 6 サイレンサエレメント
GENERATOR,VACUUM LG0-M71A3-00X 6 バキュームジェネレータ
注：「員数」は本機 1 台に必要な数を示す。
ノズル関連
部品名 部品番号 員数 備考
O RING LC1-M77A5-90X 1
P005、P006、P013
P018、P019、P020
RUBB.PAD17 LG0-M77A0-00X 1 P017 用ラバーパッド
RUBB.PAD18 LG0-M77A1-00X 1 P018 用ラバーパッド
RUBB.PAD19 LG0-M77A2-00X 1 P019 用ラバーパッド
RUBB.PAD20 LG0-M77A9-00X 1 P020 用ラバーパッド
注：「員数」は各ノズル 1 本ごとに必要な数を示す。
エアーレギュレータ部
部品名 部品番号 員数 備考
FILTER ELEMENT LG0-M86A2-10X 1 ミストセパレータ用
注：「員数」は本機 1 台に必要な数を示す。
油脂類
部品名 部品番号 員数 備考
GREASE,AFA LG0-M86A3-00X 1 AFA グリス
GREASE,AFB LG0-M86A4-00X 1 AFB グリス
GREASE,SILICON LG0-M89AB-00X 1 シリコーングリス
5．資料
5-5
コンベア部
部品名 部品番号 員数 備考
BELT1 LC0-M9BA1-00X 2
バッファ無し、両側延長無し
BELT2 LC0-M9BA2-00X 2
バッファ有り、入口側延長無し
時の入口側用
BELT3 LC0-M9BA3-00X 2
バッファ有り、出口側延長無し
時の出口側用
BELT4 LC0-M9BA4-00X 2
バッファ無し、片側 200ｍｍ
延長時
BELT5 LC0-M9BA5-00X 2
バッファ有り、入口側 200ｍｍ
延長時の入口側用
BELT6 LC0-M9BA6-00X 2
バッファ有り、出口側 200ｍｍ
延長時の出口側用
BELT7 LC0-M9BA7-00X 2
バッファ無し、両側 200ｍｍ
延長時
注：使用するベルトは、本機のコンベア仕様により異なります。
注：コンベア流れ方向が左→右、右→左のいずれもコンベアベルトの右左は変わりませ
ん。