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包装要领书 3-2 3- 2 包装方法 3-2- 1 中央部分 1 ）把传送轨道宽度调整到基板宽度的最小（ 30mm ）程度，把轨板中央部，然后固定。 2 ）把传送轨道宽度调整到最小（ 30mm ），用纤维丝胶带把螺旋轴的上侧轨道板固定好。 （ 2 处） 3-2- 2 左右两端部 1) 把轨板放到从主机突出的部分。 2) 按下图所示用气泡包装膜覆盖，以纤维丝胶带固定。 轨道板 R 纤维丝胶带 轨道板 F ※请注意不要碰到传感器。 纤维丝…
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3-1
第3章 基板传送装置
3-1 放入附属品
请将其他附属品一起放入包装纸箱 40077701 里。
（参照附属品包装要领书）
从传送装置上卸下，进行包装。
＜附属品＞
支承销的附属个数
• 40128431 支承销组件 ：12 个（XL 为 20 个）
图 3-1-1 支承销组件
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3-2
3-2 包装方法
3-2-1 中央部分
1）把传送轨道宽度调整到基板宽度的最小（30mm）程度，把轨板中央部，然后固定。
2）把传送轨道宽度调整到最小（30mm），用纤维丝胶带把螺旋轴的上侧轨道板固定好。
（2 处）
3-2-2 左右两端部
1) 把轨板放到从主机突出的部分。
2) 按下图所示用气泡包装膜覆盖，以纤维丝胶带固定。
轨道板 R
纤维丝胶带
轨道板 F
※请注意不要碰到传感器。
纤维丝胶带
放入轨板进行固定。
（轨板 PP45）
以胶带固定，防止支承台上下产生松动。
注
・ 请注意不能在轨道板（黑色部分）上施加任何负荷。
・ 如果轨道板弄弯曲的话，机器就不能使用了。
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4-1
第4章 基地桥接部分
4-1 ATC 单位
① 固定滑动板中的带。
② Note 标记（黄色，40087186）安装。
图 4-1-1 ATC 单位