N7201A802C02(操作篇).pdf - 第126页

NPM-GP/L EJP2BC-MB-04 OM-00 生产数据 编辑 基板数据 ( 识别数据 ) 的编辑 4-1-2 -1 操作篇 4-1-2 3 输入 A 点的识别点坐标 3 1 2 4 1 将识别模式设定为「基板」 2 选择识别点 ●基板 AB 点 通过 A 、 B2 点进行识别。 通过 2 点所得偏移值 ∆ x 、 ∆ y 、 ∆θ 的数值 , 对其补正。 ● AB+Pa 点 通过 A 、 B 点和图形 1 点 (Pa) 进行识…

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NPM-GP/L EJP2BC-MB-04OM-00
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NPM-GP/L EJP2BC-MB-04OM-00
生产数据
编辑
基板数据(识别数据)的编辑
4-1-2-1
操作篇
4-1-2
3
输入A点的识别点坐标
3
1
2 4
1
将识别模式设定为「基板」
2
选择识别点
●基板AB
通过AB2点进行识别。
通过2点所得偏移值xy∆θ的数值,
对其补正。
AB+Pa
通过AB点和图形1(Pa)进行识别。
AB+PaPb
通过AB点和图形2(Pa,Pb)进行识
别。
(对特定的间距图形进行重点补正时选
)
AB→∆θθ方向的补正
Pa(Pb) xyxy方向的补正
* 周围5 mm以内有同一图形时,不可使
用。
●基板A
只通过A点进行识别。
只补正A点的偏移值xy,不进行∆θ
的补正。
(不进行θ的补正,即可得到所要求的精
度时,有利于
提高生产效率)
●识别点
坐标(X,Y)
选择并输入基板上2个标记,作为识
别点AB(选择对角线上分开的2
)
X
2
Y
1
Y
2
A
X
1
Pa
Pb
B
原点(0,0)
基板识别标记
基板传送
方向
(右后侧基准时)
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选择识别方法
●「形状指定(自动)(推荐)
(最初的基板识别时自动调整照明值)
●「形状指定(手动)
(通过基板识别校正,指定照明值)
●「1点区块」(不用标记,而是用图像的
图案匹配进行识别。不可使用整体校
)
顺序
8
「形状指定」时
选择标记颜色和形状,输入尺寸
设定B点、Pa点、
Pb
(重复步骤 )