N7201A802C02(操作篇).pdf - 第207页
NPM-GP/L EJP2BC-MB-05 OM-00 5-1-3 -2 准备： ●确认传送带上没有基板 。 ●确认 控制开关是否在「 ON 」的状态。 + + + ●重复 同样的操作而引起基板 传送错误时 , 按紧急 停止开关 , 卸下基板。 结束 ( 基板 被传送到基板支架 ) ( 传入基板 ) ( 基板 被传送到右边的传送 带 ) ( 传出基板时 ) ■确认从传入到传出的整体过程时 2 3 4 5 6 + 2 3 4 5 6
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调整
传送动作
确认装载基板的传送带,向任意位置传送基板。
传送动作
5-1-3-1
操作篇
5-1-3
+
1
■解除基板夹具时
■调整传送带的流动时
■支架复位到原点时
●切换旋转方向时
通过调整菜单
表示各个传送带
基板位置
●等待搬入: 绿色闪烁
●有基板: 绿色亮灯
/
+
+
■只进行基板定位动作时
+
+
+
●旋转搬送传送带时
●停止搬送传送带时
(每按一次切换)
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5-1-3-2
准备：
●确认传送带上没有基板。
●确认控制开关是否在「ON」的状态。
+
+
+
●重复同样的操作而引起基板传送错误时,
按紧急停止开关,卸下基板。
结束
(基板被传送到基板支架)
(传入基板)
(基板被传送到右边的传送带)
(传出基板时)
■确认从传入到传出的整体过程时
2
3
4
5
6
+
2 3 4 5
6
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调整
基板识别/网板识别
3
1
2
3
2
3
+
4 A
5 B
4
5
+
+
5-1-4-1
A
B
识别
操作篇
5-1-4
进行基板识别后，对识别点坐标进行补正。
准备: ●将软开关的“基板识别”(→P.4-1-9)设为“ON”。
执行原点复归
(→P.5-1-1)
将基板搬送到基板支架上
通过调整菜单
( 将在 上显示识别点坐标的补正值)
(将在 上显示识别点坐标的补正值)
(→“搬送动作”的步骤 ～ )