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NPM-GP/L EJP2BC-MB-06 OM-00 选购件 基板吸着箱 5 操作篇 6-1-4 6-1-4 -9 吸着箱安装尺寸 可动侧基板夹扣 固定侧基板夹扣 支撑单元 支撑单元安装面 可动侧基板夹扣 固定侧基板夹扣 吸着配管连接部
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6-1-4-8
吸着箱设计例子2(仅仅用真空泵吸引)
■下箱图
基本规格尺寸
真空泵吸着规格
●设计条件
基板尺寸(L)330 mm x (W)300 mm
●和SP28P-D 以前的机种共通使用时,基
板吸着箱上需要传感器避开部,请另外
咨询。
(单位: mm)
290(基板宽度-10)
270(基板宽度-30)
材料: 铝合金托板(A2017)
处理: 不要
2×Ф3±0.005深度5
避开用
箱定位用
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选购件
基板吸着箱 5
操作篇
6-1-4
6-1-4-9
吸着箱安装尺寸
可动侧基板夹扣固定侧基板夹扣
支撑单元
支撑单元安装面
可动侧基板夹扣
固定侧基板夹扣
吸着配管连接部
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6-1-4-10