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第 4 章 消耗品の交換方法 1. ノズル 4-1 1.1 ノズル先端部とスプリングの交換 ………………………………………… 4-1 1.2 ノズル O リングの交換……………………………………………………… 4-2 2. ノズル板バネの交換 4-3 3. エジェクター部 4-5 3.1 エジェクター BIT の交換 …………………………………………………… 4-5 3.2 バルブ ( ソレノイド…
1.3 コンベアセンサーの状態と動作確認 ……………………………………… 3-8
1.4 基板クランプの状態と動作確認 ………………………………………… 3-10
1.4.1 基板クランプ状態の確認 ……………………………………………………………… 3-10
1.4.2 基板クランプ動作の確認 ……………………………………………………………… 3-10
2. 毎月 3-11
2.1 ノズルエア経路の清掃 …………………………………………………… 3-11
2.2 FNC ノズルの清掃………………………………………………………… 3-12
2.2.1 FNC ノズル ASSY の取り外し ……………………………………………………… 3-12
2.2.2 FNC ノズル ASSY の分解清掃 ……………………………………………………… 3-14
2.2.3 FNC ロケートピンの清掃 …………………………………………………………… 3-18
2.2.4 FNC ノズル ASSY の取り付け ……………………………………………………… 3-19
2.3 各軸のボールスクリューおよびガイドの点検 ………………………… 3-22
3. 2 カ月 3-23
3.1 X、Y 軸の清掃と給油 …………………………………………………… 3-23
3.1.1 X、Y 軸ボールスクリューの清掃と給油 …………………………………………… 3-23
3.1.2 X、Y 軸ガイドの清掃と給油 ………………………………………………………… 3-25
3.2 プッシュアップ軸 (PU 軸 ) の清掃と給油 ……………………………… 3-26
3.3 基板搬送部の点検 ………………………………………………………… 3-28
3.3.1 コンベアベルトの点検と清掃 ………………………………………………………… 3-28
4. 3 カ月 3-32
4.1 エジェクターフィルターの清掃と交換 ………………………………… 3-32
4.2 エジェクター真空圧力の点検 …………………………………………… 3-33
4.3 各ヘッドのブローバルブと清掃用ブローバルブの動作確認 ………… 3-34
4.4 スプラインシャフト内の清掃 …………………………………………… 3-36
4.4.1 スプラインシャフト内の洗浄 ………………………………………………………… 3-36
4.4.2 負圧状態の確認 ………………………………………………………………………… 3-38
4.5 スプラインシャフトの動作確認 ………………………………………… 3-39
4.5.1 スプラインシャフト Z 軸動作の確認 ……………………………………………… 3-39
4.5.2 スプラインシャフト周辺の確認と清掃 ……………………………………………… 3-40
4.5.3 スプラインシャフトの給油 ( 必要時のみ実施 ) …………………………………… 3-41
4.6 エア・オイルミストフィルターの点検と交換 ………………………… 3-43
5. 6 カ月 3-45
5.1 フィデューシャルカメラの清掃 ………………………………………… 3-45
5.2 W 軸の清掃と給油………………………………………………………… 3-46
5.3 サイドビューカメラの清掃 ( オプション )……………………………… 3-48
6. 1 年 3-49
6.1 ブローステーションフィルターの清掃と交換 ………………………… 3-49
6.2 ノズルステーションセンサーの状態確認 ( オプション )……………… 3-50
第 4 章 消耗品の交換方法
1. ノズル 4-1
1.1 ノズル先端部とスプリングの交換 ………………………………………… 4-1
1.2 ノズル O リングの交換……………………………………………………… 4-2
2. ノズル板バネの交換 4-3
3. エジェクター部 4-5
3.1 エジェクター BIT の交換 …………………………………………………… 4-5
3.2 バルブ ( ソレノイドバルブ ) の交換 ……………………………………… 4-6
3.3 清掃用ブローバルブの交換 ………………………………………………… 4-9
4. コンベアベルトの交換 4-10
第 5 章 給油箇所一覧
1. 給油準備 5-1
1.1 適応グリス …………………………………………………………………… 5-1
1.2 グリスガン …………………………………………………………………… 5-1
2. 給油箇所と周期 5-2
2.1 X 軸 …………………………………………………………………………… 5-2
2.2 Y 軸 …………………………………………………………………………… 5-3
2.3 PU 軸…………………………………………………………………………… 5-3
2.4 W 軸 ( コンベア ) …………………………………………………………… 5-4
2.5 Z 軸 ( スプラインシャフト )………………………………………………… 5-5
付録
1. 仕様 A-1
1.1 エア圧調整部 ………………………………………………………………… A-1
1.2 電源接続部 …………………………………………………………………… A-2
2. 保証について A-3